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Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 杭州市
  • 廠商性質(zhì) $CompanyTypeName
  • 更新時間 2021/5/17 15:23:09
  • 訪問次數(shù) 1255

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Transpector® MPH 殘余氣體分析儀 INFICON 利用在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長制造的 RGA 具有行業(yè)先的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強和信噪比低。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

詳細信息 在線詢價

  • Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

解放您的過程

的性能提高良率并使正常運行時間

持續(xù)上升的硅晶圓價格以及對成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出較高的代價。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時間長的優(yōu)點，在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 利用在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長制造的 RGA 具有行業(yè)先的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強和信噪比低。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

 

 

  • Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

功能

  • 最大模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點 1.8 ms
  • TCP/IP 以太網(wǎng)連接
  • 雙絲極
  • 可現(xiàn)場更換電子倍增器
  • 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個數(shù)量級的動態(tài)量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）
  • 信噪比更高
  • 可調(diào)換傳感器和電子元件
  • 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標準

 

Type MPH100FMPH100MMPH200FMPH200MMPH300FMPH300M
傳感器長度 14.3 cm19.3 cm14.3 cm19.3 cm14.3 cm19.3 cm
質(zhì)量范圍 100 amu100 amu200 amu200 amu300 amu300 amu
檢測器類型 FCFC/EMFCFC/EMFCFC/EM
靈敏度 (FC) 6E-4 A/Torr6E-4 A/Torr5E-4 A/Torr5E-4 A/Torr4E-4 A/Torr4E-4 A/Torr
靈敏度 (EM) NA500 A/TorrNA500 A/TorrNA250 A/Torr
Z小可檢測分壓 (4) 3E-13 Torr2E-15 Torr4E-13 Torr3E-15 Torr5E-13 Torr4E-15 Torr
Z高傳感器工作溫度(FC) 200°C200°C200°C200°C200°C200°C
Z高傳感器工作溫度(EM) NA150°CNA150°CNA150°C
絲極類型選件 (1) Y2O3/IrY2O3/IrY2O3/IrY2O3/IrY2O3/IrY2O3/Ir
絲極類型選件 (2) TungstenTungstenTungstenTungstenTungstenTungsten
分辨率（整個質(zhì)量范圍內(nèi)） <1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)
溫度系數(shù) <1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C
高每點數(shù)據(jù)率 1.8 ms1.8 ms1.8 ms1.8 ms1.8 ms1.8 ms
零沖擊（@ 質(zhì)量 2） <5 ppm<5 ppm<65 ppm<65 ppm<100 ppm<100 ppm
Z大工作壓力 5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr
Z高烘烤溫度300300300300300300
功率輸入 20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC

(1) 用于一般應(yīng)用

(2) 用于鹵素環(huán)境應(yīng)用

(3) 在峰高的 10％ 處

(4) 4 秒的停留時間

杭州太昊科技有限公司

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  • 其他
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