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108Auto 離子濺射儀(噴金儀)

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108Auto 離子濺射儀(噴金儀)108 Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜??墒褂枚喾N金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。 分類: 電鏡制樣設(shè)備, 鍍膜儀 標(biāo)簽: 噴金儀, 離子濺射儀, 鍍膜儀 Brand:Ted Pella

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

描述

 

108 Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

一、自動(dòng)的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導(dǎo)電噴鍍效果。

二、通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程,避免樣品表面受損。

三、操作容易快捷,可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。

四、在自動(dòng)模式下,可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程??赏ㄟ^(guò)數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,

五、通過(guò)使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過(guò)程。

六、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。

 

技術(shù)參數(shù)

 

濺射系統(tǒng)
樣品室大小直徑120mm x 120mm 高
靶材標(biāo)配Au ,可選配 Au:Pd, Pt, Pt:Pd等;大?。褐睆?7mm x 0.1mm厚
樣品臺(tái)可以裝載12個(gè)SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為65mm。可選配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái),

旋轉(zhuǎn)速度:0~120rpm可調(diào),傾斜角度:0~90°可調(diào)。旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)具有單獨(dú)腔體保護(hù),可防污染。

濺射控制微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),電流10、20、30、40mA,程序化數(shù)字控制
濺射頭低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
計(jì)量atm~1*10-3mba / 0~50mA
厚度監(jiān)控(選件)使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動(dòng)終止濺射過(guò)程.
控制方法自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能,自動(dòng)處理排序,帶有“暫?!笨刂频臄?shù)字定時(shí)器(5-300s),自動(dòng)放氣.整個(gè)操作亦可全手動(dòng)控制。
真空系統(tǒng)
真空泵*2級(jí)直連式高速真空泵
抽氣速率100L/MIN
噪音50dB
極限真空≤1 x 10-3 Torr

 


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