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P-5X 鋁質(zhì)腔體等離子清洗機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 極科有限公司
  • 品牌
  • 型號 P-5X
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2015/12/4 17:00:01
  • 訪問次數(shù) 662

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鋁質(zhì)腔體等離子清洗機縱覽

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鋁質(zhì)腔體等離子清洗機專門用于小型生產(chǎn)企業(yè)、研發(fā)實驗室、檢測機構和科研院校。鋁質(zhì)腔體等離子清洗機采用了防暴式203毫米寬x  203毫米深D X 102毫米高矩形鋁合金真空艙,并設置直接供電的射頻(RF)電極。 應用范圍包括醫(yī)療設備、太陽能電池、印刷電路板、連接器、微機電系統(tǒng)(MEMS)、納米技術、晶圓級封裝、以及許多其他相關的半導體工藝。

鋁質(zhì)腔體等離子清洗機特點

正如所有鋁質(zhì)腔體等離子清洗機,P-X5采用電容耦合(CCP平行電極板設計,從而zui有效的產(chǎn)生等離子體。


與傳統(tǒng)玻璃/石英圓筒艙不同的是,這些競爭設備不能穿透真空艙,因此被限制只能使用感應耦合的RF線圈纏在腔室的外部。 這是設置一種低效率方式,導致輸入功率損失及相當?shù)偷奈g刻/清潔去除速率。

P-5X鋁質(zhì)腔體等離子清洗機是由美國制造的部件組裝而成,我們提供的鋁質(zhì)腔體等離子清洗機客戶服務和支持。

鋁質(zhì)腔體等離子清洗機規(guī)格

標準鋁質(zhì)腔體等離子清洗機配置
鋁合金真空艙尺寸:203毫米寬x  203毫米深D X 102毫米高
電極設置:單套 254毫米 X 127毫米 水平電極
射頻電源:125@ 50 kHz 射頻電源
工藝氣體控制:精密針形閥流量控制0-25 CC /分鐘
真空監(jiān)測系統(tǒng):皮拉尼真空計0-1
真空系統(tǒng):5CFM真空泵(可與氧氣等活性氣體適配)
工藝存儲:單處理順序

可選配鋁質(zhì)腔體等離子清洗機配置
射頻電源:100W@13.56MHz射頻電源和自動匹配網(wǎng)絡
燈條
質(zhì)量流量控制器(MFC

鋁質(zhì)腔體等離子清洗機機電信息
電源: 220VAC,50Hz@ 14A
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機重量:25公斤
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機配套真空泵重量:16公斤
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機占地尺寸:356毫米X 356毫米X 457毫米
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機配套真空泵占地尺寸:178毫米 X 406毫米

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極科有限公司
材料科學部


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