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- 公司名稱 日立高新技術(shù)(上海)國際貿(mào)易有限公司北京分公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2021/2/26 21:19:21
- 訪問次數(shù) 1085
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適用于對應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測量SEM搭載日技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量,提供高解析度的SEM成像,更高的測量精度和快速自動化操作,將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計(jì)劃支持對應(yīng)碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等各種材料的晶圓,以滿足客戶對半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。
適用于對應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測量SEM
搭載日技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量,提供高解析度的SEM成像,更高的測量精度和快速自動化操作,將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計(jì)劃支持對應(yīng)碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等各種材料的晶圓,以滿足客戶對半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。
測量精度 | 1nm(3σ)(采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓) |
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晶圓尺寸 | 直徑 100mm, 150mm, 200mm |
自動裝片裝置 | 2個(gè) |
設(shè)備尺寸(主體) | 1180(寬)× 2500(長)× 1990(高)毫米 |
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