③測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案,探測(cè)器
③可提供滿(mǎn)足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿(mǎn)足多種觀察需求的探測(cè)器
- 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測(cè)器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外,還可以通過(guò)檢測(cè)電子束照射樣品而產(chǎn)生的陰極熒光,來(lái)獲取CL信息。 - 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器,切換成分/凹凸等多種圖像。
通過(guò)采用4分割+1單元的設(shè)計(jì),對(duì)每個(gè)單元進(jìn)行計(jì)算,無(wú)需傾斜樣品,即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測(cè)器的設(shè)計(jì)十分精巧,且靈敏度高,實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。
■配備了多功能超大樣品倉(cāng),可以搭載多種配件
SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。
■SEM/EDS一體化功能*
SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能,通過(guò)SEM操作界面即可完成測(cè)試位置確定、條件設(shè)置、樣品分析以及生成報(bào)告等一系列操作。通過(guò)SEM的全面控制,可以提高測(cè)試效率,減輕了操作人員的負(fù)擔(dān)。
■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
Hitachi Map 3D可對(duì)SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測(cè)器當(dāng)中的4個(gè)不同方向的SEM信號(hào)進(jìn)行演算分析,生成三維圖像。支持2點(diǎn)間高度、體積和簡(jiǎn)易表面粗糙度(面粗糙度、線(xiàn)粗糙度)測(cè)量??梢淮涡越邮账膫€(gè)不同方向的信號(hào),因此,無(wú)需傾斜樣品臺(tái)或合成圖像。
■支持圖像測(cè)量軟件Image pro
SU3800 / SU3900搭載了IPI,可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹?guó)Media Cybernetics公司開(kāi)發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下,即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測(cè)量軟件。