氦質(zhì)譜檢漏儀,氦質(zhì)譜檢漏儀價格,氦質(zhì)譜檢漏儀廠家
zui小可檢漏率：8×10-13Pa·m3/s
漏率顯示范圍：1×10-2～1×10-1212Pa·m3/s
啟動時間：≤2min

名稱：氦質(zhì)譜檢漏儀        型號:M203377

型氦質(zhì)譜檢漏儀, 采用inficon技術，設備內(nèi)芯使用inficon成套質(zhì)譜模塊，SFJ-261型氦質(zhì)譜檢漏儀尤其適用于半導體工業(yè)精確檢漏的要求，具有啟動快速、移動方便、靈敏度高、性能穩(wěn)定等優(yōu)點，在定期維護、臨時檢修氣體管路和其他檢漏應用中可快速提供檢測結果。

主要技術指標：
zui小可檢漏率：8×10-13Pa·m3/s
漏率顯示范圍：1×10-2～1×10-1212Pa·m3/s
啟動時間：≤2min
響應時間：≤1s
檢漏口zui高壓力：≤2000Pa
外型尺寸：340（W）×670（D）780（H）
優(yōu)勢：
1.無油式設計，所有的部件均無油，并在無油的條件下組裝和測試
2.方便的移動式設計，低重心、位置適當?shù)陌咽趾凸饣妮喞_保在工作場所隨意地移動
3.可靠性甚高的真空系統(tǒng)，包括干式的機械泵以及高壓縮比的復合型分子泵
4.液晶顯示的版面設計，讓檢測結果更清晰

SFJ-261型氦質(zhì)譜檢漏儀將廣泛的應用于半導體工藝設備的維護、工業(yè)氣體系統(tǒng)的檢測與安裝、元器件在組裝前的漏率測試及要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件下的應用場合。