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YAMATO等離子清洗機(jī)PDC210

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詳細(xì)信息

儀器簡介：

研究開發(fā)用等離子清洗機(jī)

用途：

CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機(jī)膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理



技術(shù)參數(shù)：
型號PDC200PDC210PDC510
模式RIE模式（DP選配）DP模式DP/RIE切換方式
電極構(gòu)造平行平板電極（固定）
高頻輸出功率MAX300W               Max 500W
頻率13.56MHz
控制方式自動聯(lián)動，液晶觸摸屏控制
反應(yīng)室尺寸400×250×150mm500×300×200
電極尺寸250×170mm400×200mm
反應(yīng)室材質(zhì)                                    一次性一體成型鋁腔（防腐蝕，可對應(yīng)CF4）
反應(yīng)氣體2系統(tǒng)（Ar/O2）
填充氣體N2/潔凈干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制流量計聚合控制器
真空泵另行選配油回旋真空泵（排氣量345L/min）油回旋真空泵（排氣量500L/min）
氣體導(dǎo)入口反應(yīng)氣體2套，填充氣體1套
外型尺寸540×600×600mm540×600×600mm700×700×700mm
電源單相AC100V 15A 50/60Hz                                     三相AC100V 15A 50/60Hz








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