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等離子清洗機 PDC200/210/510

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PDC200/210/510等離子清洗機

高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機。 

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng)多種用途。 

用途 

?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗

?去除有機膜和金屬氧化膜

?印刷電路基板的干式清洗

?界面活性處理

?LED封裝 

特征

?DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）

?RIE模式

?均勻性高的電極構(gòu)造

?操作簡單的觸摸屏控制器 
 

規(guī)格 

型號

PDC200

PDC210

PDC510

等離子模式

RIE（DP模式選配）

RIE/DP

電極構(gòu)造

平行平板（固定）

高頻輸出

Max300W

Max500W

頻率

13.56MHz

控制·顯示

液晶觸摸屏

反應(yīng)室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm

電極尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm

反應(yīng)室材質(zhì)

鋁

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)（Ar、O2）

填充氣體

N2或干燥空氣

反應(yīng)氣體流量控制

流量計

聚合控制器

真空泵

另行選配

油泵（約345L/分）標配

油泵（約500L/分）標配

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個

外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

約100kg

約105kg

約180kg

電源

單相 AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A

 

 


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