手動探針臺是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計明顯操作靈活的手動探針臺。它采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金費用。PS4L 系列探針臺滿足了客戶對規(guī)格參數(shù)精準的要求。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，平臺,卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學組件，操縱器等都是可以更換的，這使得 PS4L系列探針臺以極低的價格便可滿足多種應(yīng)用需求。

SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺 PS4L 產(chǎn)品描述：

SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺 PS4L 是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計明顯操作靈活的手動探針臺。它采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金費用。PS4L 系列探針臺滿足了客戶對規(guī)格參數(shù)精準的要求。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，平臺,卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學組件，操縱器等都是可以更換的，這使得 PS4L系列探針臺以極低的價格便可滿足多種應(yīng)用需求，為客戶提供了完美的解決方案。

更重要的是，PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以使探針臺在一個基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進行升級?？筛鶕?jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進行現(xiàn)場升級，由手動探針臺升級為半自動探針臺，半自動探針臺升級為全自動探針臺，或者6”升級為8”，8”升級為12”，增加密閉測試倉，增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。這樣的設(shè)計理念使得即使當晶圓尺寸，自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時，PS4L也無需重新更換新的平臺，便可用短的時效和的費用完成有效的測試。

SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺技術(shù)參數(shù)（型號：PS4L M-12）：

• 產(chǎn)品尺寸：1200mm * 650mm * 900mm
• 重量：110Kg
• 輸入電壓：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空:23 Hg or -0.8 bar
• 卡盤X-Y軸軌道：行程:＞300mm粗調(diào)，25mm微調(diào)(可定制)
• 平面性:±7.5μm
• 分辨率:5μm
• 支架類型：快速對準（標配）、同軸/可編程（選配）
• 卡盤Z軸軌道：行程：＞20mm
• θ移動：可轉(zhuǎn)角度：360°粗調(diào)，>10°微調(diào)
• 卡盤類型：真空或機械夾緊，圓形或方形，三軸，高頻，高壓/高電流，高低溫等
• 平面性:5μm
• 壓盤：鋁和不銹鋼頂部，可拆卸前楔
• 360度機械手放置
• 機械手固定：磁性(標準)，真空(可選配真空歧管工具包)
• 壓盤位移：可選擇固定和線性調(diào)節(jié)（線性調(diào)節(jié)范圍：40mm粗調(diào)，200um微調(diào)）
• 顯微鏡：立體變焦、變焦或復(fù)式顯微鏡
• 顯微鏡安裝/移動：可選吊桿、立柱或橋架安裝；可手動或通過程控移動

SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺可選配件：

包括探針卡，操縱器，操縱臂和基座， 探針，激光，光學部件，CCTV 系統(tǒng)，隔振臺，暗箱。