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測量系統(tǒng) | |
量測原理 | 白光干涉 |
Z軸定位系統(tǒng) | 壓電效應調節(jié)系統(tǒng) |
高度量測范圍 | 大可達400 μm |
攝像頭參數 | CCD攝像頭；1624x 1234相素 |
干涉物鏡系統(tǒng) | |
放大倍數MAG 視場范圍FOV (mm) 橫向分辨率 (um) | 2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm – 0.55 μm |
光源 | LED |
測試時間 | 通常＜20秒 |
軟件系統(tǒng) | |
SmartWLI | 基于微軟Win7操作系統(tǒng)，64位表面形貌測量軟件；三維數據可通過接口直接傳輸至MountainsMap分析軟件。 |
MountainsMap | 三維數據分析軟件，輪廓及三維影像結果輸出、測量數據預處理及后處理、德標（DIN）歐標（ EN） ISO標準粗糙度及高度測定、串行處理及測試日志。 |
輸出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |
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