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X射線組合折射透鏡

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公司介紹:

德國Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)微技術(shù)研究所 (IMT) 衍生的子公司。通過使用X 射線和激光LIGA技術(shù),Microworks為客戶提供高精度微結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。在微納米技術(shù)領(lǐng)域,Microworks代表著高精度。在一個(gè)晶片內(nèi)或者從一個(gè)晶片到另一個(gè)晶片,其高縱橫比和精度可以遠(yuǎn)低于1µm。其產(chǎn)品涵蓋相襯成像光柵、微齒輪、雙曲型電極、精密篩、近紅外濾波器(選頻濾波器)、微彈簧,RF等。


產(chǎn)品介紹:

由于材料中x射線的折射率略小于1,所以x射線透鏡有一個(gè)雙凹透鏡原件,每個(gè)聚焦元的焦距都非常小。通過線性地對齊許多元件,焦距可以顯著地減少到幾厘米的范圍。

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

沿光軸放置許多小透鏡元件,使入射的x射線光束逐漸聚焦到一個(gè)微米級焦點(diǎn)上。使用90度交替排列的原件使用垂直方向和水平方向都可以實(shí)現(xiàn)聚焦。透鏡元件的由SU-8光刻膠制成的,像聚合物在硅晶圓上。環(huán)氧樹脂抗蝕劑SU-8過去常使用在平板印刷過程中,它主要由高靈敏度、高靈敏度、x射線透明,且化學(xué)性能好和機(jī)械穩(wěn)定性的特點(diǎn)。目前透鏡的X射線穩(wěn)定性已經(jīng)測試到了≈2 MJ/cm3。


優(yōu)勢:

光軸不發(fā)生改變

聚焦質(zhì)量不會因長時(shí)間曝光而改變

易于安裝

菲涅爾透鏡可選


北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

如果你需要CRL鏡,請告訴我們

1. 光子能量(KEV)(單色)

2. 光源尺寸(V [µm]× H [µm], FWHM)

3. SD,光源到鏡片中心距離(m)

4. WD, 工作距離,鏡片中心到焦點(diǎn)距離(mm)

5. 光源和透鏡間光學(xué)元件(虛擬光源,聚焦元件)的位置和和這些元件所在位置的光束尺寸。

6. 需要的聚焦光斑尺寸:(V [μm]× H [μm], FWHM)

7. 鏡頭中心到探測器平面的距離


參數(shù):

適用能量范圍寬(> 8 keV)

入口孔徑:高達(dá)1500µm

聚焦尺寸:小0.5 μm x 0.5 μm

透鏡材料:SU-8 (epoxy resist)


聚焦案列:


硬X射線聚焦(標(biāo)準(zhǔn)CRL)

X射線透鏡系統(tǒng)-焦距可變(變焦鏡)

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

· 點(diǎn)/線聚焦

· 適用于高能應(yīng)用>100KeV

· 可用作準(zhǔn)直透鏡

· 用戶可通過可移動的聚焦元件來優(yōu)化工作距離

· 手動或電動驅(qū)動

· 100 mm x 120 mm x 100 mm的小巧外形尺寸

多聚焦條件透鏡系統(tǒng)(多焦點(diǎn)透鏡)

大口徑、低吸收的X射線棱鏡透鏡

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

· 為不同的設(shè)置而優(yōu)化的鏡頭可以安裝在一個(gè)鏡頭快中

· 多可提供10x10透鏡矩陣(在150µm物理孔徑下)

· 通過照亮整個(gè)光圈可在一個(gè)平面上的獲得多個(gè)焦點(diǎn)

· 聚焦案列:

12.4 keV, WD = 1.6 m

Incident beam size: 1.5 mm x 1.5 mm

Focus point size: 52 μm x 46 μm

Delivery examples (SPring-8)

BL13XU, BL43LXU



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