Tergeo系列臺式等離子清潔儀
Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤，進行煤和有機物的灰化，激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團，獲得表面親水性，提高鍵合強度和可印刷性，促進科研生物相容性?？杉山胧胶瓦h(yuǎn)程式兩種等離子源，既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿，也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網(wǎng)多孔碳膜等脆弱的精細(xì)樣品。
Tergeo系列具有三種型號：
1）Tergeo 等離子清潔儀：這是一款經(jīng)濟實用的等離子清潔儀。
2）Tergeo-Plus大腔室等離子清潔儀：這是一款具有大樣品室的等離子清潔儀，可清潔寬達(dá)150mm的樣品。
3）Tergeo-EM等離子清潔儀：用于TEM樣品桿清潔以及去除SEM & TEM樣品的碳?xì)湮廴尽?/font>
儀器特點：
• Tergeo系列是能在一個系統(tǒng)中支持兩種清潔模式的等離子清潔儀。
Tergeo-EM標(biāo)配雙等離子源、并且具有清潔TEM樣品桿的功能；其余兩款
標(biāo)配浸入式等離子源，用于樣品表面清潔、蝕刻、灰化，可選遠(yuǎn)程式等離
子源用于溫和的污染清除及脆弱易損樣品的表面活化。
• 采用離子體強度傳感器技術(shù)，實現(xiàn)實時定量測量等離子強度
• 13.56MHz射頻發(fā)生器，自動阻抗匹配調(diào)諧，雙源版本可脈沖工作
• 直觀的觸摸屏用戶界面，可儲存20條用戶程序，全自動運行
• 采用MFC(質(zhì)量流量控制器)調(diào)節(jié)的氣體輸送控制
• 高純石英樣品腔室和樣品托
*應(yīng)用：
• 集成電路芯片引線鍵合和封裝前的清潔
• 清潔TEM和SEM樣品，去除烴污染
• 親水性或疏水表面潤濕性等離子處理
• 增強環(huán)氧樹脂/膠水粘合強度
• 用于清潔光學(xué)、激光、通訊用玻璃和光纖頭
• 改善MEMS微流體器件的潤濕性
• 蝕刻光刻膠
• 剝除被膜，用于失效分析
• 隱形眼鏡、科研植入物等類型科研的表面處理和激活
實驗結(jié)果的一致性和可重復(fù)性對于科研和生產(chǎn)運行是至關(guān)重要的。因此，
我們集成了多種過程控制技術(shù)來監(jiān)測和控制關(guān)鍵參數(shù)，如等離子體傳感
器、壓力傳感器和氣體輸入的自動質(zhì)量流量控制器。Tergeo等離子清洗
機的操作是全自動的。直觀的用戶界面，加上7英寸的觸摸屏，使本系
列儀器的操作像智能板一樣簡單。嵌入微控制器支持20個可定制的配方
程序。Tergeo系列等離子體處理系統(tǒng)采用*的工藝控制技術(shù)，可為不
同用戶提供重復(fù)的日常運行性能。
Tergeo系列臺式等離子蝕刻和表面清潔系統(tǒng)可用于研究、開發(fā)等應(yīng)用。TEM用戶，請選用我們的Tergeo-EM具有清潔TEM樣品桿功能的等離子清潔儀；TEM和SEM及其它用戶也可查看EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子清潔系統(tǒng)。對于樣品桿儲存等應(yīng)用，可選用多用途樣品清潔及儲存腔室。
