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ARS 閉循環(huán)電磁鐵探針臺(tái)

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美國(guó)ARS 公司的PS-CC閉循環(huán)探針臺(tái)用于樣品的非破壞性檢測(cè),測(cè)試靈活,可提供0.6T的水平磁場(chǎng)并配備雙極電源。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于直流(DC),射頻(RF),MEMS, 納米電子,超導(dǎo)性,納米電路的光電特性,量子點(diǎn)和量子線,非破壞性測(cè)試等。

 

該款探針臺(tái)使用DE204、DE210或DE215系列冷頭,整個(gè)測(cè)試過程中無需使用任何制冷劑(液氦/液氮)可根據(jù)不同測(cè)試要求,選用不同型號(hào)冷頭,以便樣品低溫度到達(dá)13K、<10K、7K或 <4K。所有的ARS閉式循冷頭均采用高制冷量的一級(jí)冷頭,該設(shè)計(jì)可使系統(tǒng)快速降溫并降低系統(tǒng)熱負(fù)載。氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)GM冷頭一級(jí)制冷量高,固有振動(dòng)小,是該領(lǐng)域的理想選擇。

 

該系統(tǒng)配有硬涂層鋁制真空罩和高拋光的無氧銅防熱輻射屏。高質(zhì)的真空器件至關(guān)重要,可以使樣品獲得更高的真空環(huán)境,更潔凈的表面,更好的電接觸。

 

ARS既生產(chǎn)冷頭又生產(chǎn)探針臺(tái)的一站式生產(chǎn)確保了該產(chǎn)品的穩(wěn)定性能,也利于系統(tǒng)的診斷和服務(wù)。

 

上圖展示了連接到真空室的4個(gè)探針。這是桌的側(cè)面,沒有顯示下面的制冷機(jī)。

上圖展示了探針臺(tái)內(nèi)部的樣品空間。

應(yīng)用案例:

• 電磁特性

• 微波特性

• 低頻,高頻特性

• MEMS

• 納米電子學(xué)

• 超導(dǎo)特性

• 納米器件光電性能

• 量子點(diǎn)及納米線

• 單電子

• 低電流物理特性

 

特點(diǎn)

備注

溫度范圍:< 7K-400K

其他溫區(qū)可選

樣品區(qū)0.6T水平磁場(chǎng)

 

樣品區(qū)振動(dòng)優(yōu)于 1微米

 

12英寸×5英寸不銹鋼真空室

 

5.5英寸 × 2.875英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏

 

1英寸方形鍍金無氧銅樣品臺(tái)

 

高純石英觀察窗

 

藍(lán)寶石防熱輻射屏冷窗

 

多至4個(gè)三維微操作探針臂

 

可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂

 

控溫系統(tǒng):高精度4通道控溫儀、用于測(cè)量樣品溫度的校準(zhǔn)行硅二極管溫度計(jì)(±12mK)、加熱器

溫度計(jì)安裝位置:

1、冷頭溫度計(jì),用于診斷

2、樣品臺(tái)溫度計(jì)及加熱器,用于控制樣品臺(tái)溫度,實(shí)現(xiàn)精確控溫

3、樣品溫度計(jì),用于精確測(cè)量樣品溫度

4、冷屏溫度計(jì)及加熱器,用于控制加熱冷屏溫度,實(shí)現(xiàn)快速換樣

7:1顯微觀測(cè)系統(tǒng),3微米分辨率,環(huán)形光源

可升級(jí)16:1顯微觀察系統(tǒng)

規(guī)格及技術(shù)參數(shù)

 

制冷方式

閉循環(huán)制冷,無需液氦

溫度范圍

7K-400K

(可選更高制冷量DE215冷頭冷臺(tái)溫度 < 4K,安裝高溫隔熱臺(tái)高溫度可達(dá)800K)

磁場(chǎng)范圍

-0.6T至+0.6T

磁體型號(hào)

GMW5403EG

磁場(chǎng)方向水平方向

極面76毫米

水冷需求:2升/分鐘,0.8bar

電源:雙極型電源

電壓±20V

電流±40A

高斯計(jì):LS475DSP

霍爾傳感器LS HGCT-3020

溫度穩(wěn)定性

優(yōu)于50mK

泵抽真空時(shí)間

機(jī)械泵約45分鐘

分子泵約10分鐘

降溫時(shí)間

約2.5小時(shí)至10K(DE204P冷頭)

真空腔

無磁不銹鋼真空腔

12英寸×5英寸

上蓋安裝高純石英窗口

防熱輻射屏

鍍鎳無氧銅防熱輻射屏

5.5英寸 × 2.875英寸

上蓋藍(lán)寶石冷窗

熱連接至1級(jí)冷頭

樣品臺(tái)

鍍金無氧銅樣品臺(tái)

1英寸方形

接地(標(biāo)準(zhǔn))

絕緣(可選)

偏壓,通過同軸電纜至外部BNC接頭(可選)

偏壓到Guard,通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭(可選)

探針臂位移臺(tái)

手動(dòng)驅(qū)動(dòng)

不銹鋼焊接波紋管連接

X方向(軸向)2英寸行程

Y方向(橫向)1英寸行程(標(biāo)準(zhǔn))

Z方向(垂直方向)0.5英寸行程

刻度10微米

靈敏度5微米

振動(dòng)

三級(jí)減震,振動(dòng)小于1微米

溫度計(jì)安裝

4個(gè)溫度計(jì),2套加熱器

4個(gè)溫度計(jì)位置:

1個(gè)DT-670B-SD溫度計(jì)安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫

1個(gè)DT-670B-SD溫度計(jì)安裝于樣品臺(tái)底部用于控溫

1個(gè)DT-670B-SD溫度計(jì)安裝于冷頭位置用于診斷

1個(gè)校準(zhǔn)型CX-1070-CU-4L溫度計(jì)安裝在樣品臺(tái)頂部樣品附近,用于精確測(cè)溫

2套加熱器位置:

1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺(tái)底部用于控溫

1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統(tǒng)快速升溫

顯微觀測(cè)系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)7:1顯微鏡

4.2毫米-0.61毫米視野

工作距離:89毫米

數(shù)值孔徑:0.024-0.08

光源:環(huán)形光源

分辨率:3微米

安裝手動(dòng)三維位移臺(tái)

高分辨率24英寸顯示器

可選16:1顯微鏡

12.8毫米-0.8毫米視野

工作距離:89毫米

數(shù)值孔徑:0.0090-0.15

光源:環(huán)形光源

分辨率:2微米

安裝手動(dòng)三維位移臺(tái)

高分辨率24英寸顯示器

探針臂

 

直流/低頻探針臂

微型同軸電纜

接頭:SMA或BNC

頻率:0-100兆赫茲

阻抗:50歐姆

包含接地屏蔽接頭

三同軸電纜

接頭:三同軸接頭

頻率:0-100兆赫茲

阻抗:50歐姆

卡爾文探針

電纜:同軸或三同軸

接頭:SMA/BNC/三同軸

頻率:0-100兆赫茲

針尖材料:

鎢針(標(biāo)準(zhǔn))

鍍金鎢針(可選)

鈹銅鍍金(可選)

針尖半徑:

0.5微米(其他半徑可選)

GSG高頻探針臂

0-40GHz

接頭:K型接頭

電纜:半剛性同軸電纜

針尖:鎢針或鈹銅針尖

0-50GHz

接頭:2.4

電纜:半剛性同軸電纜

針尖:鎢針或鈹銅針尖

0-67GHz

接頭:1.85

電纜:半剛性同軸電纜

針尖:鎢針或鈹銅針尖

光纖探針臂

紫外/可見 或 可見/紅外

接頭:SMA905公頭

光纖樣品端:拋光裸頭

尺寸:100微米-400微米

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