德國FRT測量系統(tǒng)應(yīng)用于所有類型的表面測量分析。納米表面測量儀采用一個(gè)或多個(gè)傳感器高精密測量輪廓特征，表面粗糙度，平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。使用光學(xué)白光色差傳感器進(jìn)行非接觸無損傷測量，工作距離大，快速輸出2D或3D測量數(shù)據(jù)。適合研發(fā)和質(zhì)控領(lǐng)域應(yīng)用范圍：半導(dǎo)體晶片加工檢測；鈉米刻蝕和操作；MEMS；IC封裝；汽車制造系統(tǒng)；復(fù)合材料分析；生物分析磨擦分析；薄膜厚度測量，微細(xì)結(jié)構(gòu)分析等。

表面摩擦分析 注塑模型腔分析

納米表面測量儀使用光學(xué)色差傳感器FRT CWL詳細(xì)介紹如下：

光學(xué)色差傳感器FRT CWL 工作原理和技術(shù)數(shù)據(jù)

光學(xué)色差傳感器（Chromatic sensor FRT CWL）非接觸地測量零件的表面，具有高分辨率和高測量精度。傳感器可以測量所有的表面，與被測零件的反射能力，粗糙度和顏色無關(guān)。非常小的測量斑點(diǎn)保證了很高的幾何位置分辨率。采用不同的測量頭，能夠達(dá)到納米級(jí)的高分辨率和毫米級(jí)的測量范圍。測量是同軸進(jìn)行的，避免了在照明方向和測量方向不一致時(shí)產(chǎn)生的光暈現(xiàn)象。

測量的基本原理是，用白光進(jìn)行逐點(diǎn)距離測量。聚焦白光照射被測零件表面，傳感器測量反射光線的波長分布，由此測定零件的優(yōu)良高度。由于各種原因產(chǎn)生的光強(qiáng)變化不影響測量，比如不同的材料，劃痕或表面粗糙度。

色差傳感器的距離測量與傳統(tǒng)的光學(xué)測試頭的本質(zhì)區(qū)別是在測量方向無移動(dòng)部件，無磨損測量。由于跟蹤透鏡的系統(tǒng)擺動(dòng)而產(chǎn)生的誤差被*消除了。

色差傳感器不僅給測量儀器提供了出色的技術(shù)特性，而且堅(jiān)固結(jié)實(shí)，非常適合復(fù)雜生產(chǎn)環(huán)境的特殊要求。被動(dòng)式的測試頭通過光纖與電子單元連接，可以距離傳感器電子系統(tǒng)數(shù)米遠(yuǎn)工作。

FRT CWL 的工作原理是色差距離測量。白光通過測試頭，以不同波長的焦距聚焦在零件表面。照射在零件表面的光線的光譜，在光譜儀中有一個(gè)峰值，由這個(gè)峰值波長來確定零件的高度。利用這個(gè)原理，傳感器能毫無問題地測量透明的，高反射的，或者黑色的表面。這種測量非常迅速，而且沒有邊緣效應(yīng)（艾伯哈*應(yīng)）。

色差傳感器有一個(gè)LC 顯示器實(shí)時(shí)顯示測量值，通過功能鍵可以設(shè)置傳感器功能。通過RS232 接口與系統(tǒng)連接。

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