儀器介紹
    TPY-1橢圓偏振測厚儀采用消光法手動調(diào)節(jié)，自動測量薄膜厚度和折射率，精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器采用USB2.0接口與電腦連接，軟件具有生成表、查表以及精確計算等功能，方便用戶使用。
 
規(guī)格參數(shù)

測量范圍	薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10
測量厚度小示值（nm）	≤1
偏振器方位角范圍	0°- 180°讀取分辨率為0.05°
偏振器步進(jìn)角	0.014°/步
測量膜厚（nm）	±1
折射率重復(fù)性精度	±0.01
入射角調(diào)節(jié)范圍	20°～90°精度為0.05°
入射光波長（nm）	632.8
光學(xué)中心高（mm）	80
允許樣品尺寸（mm）	φ10-φ140，厚度≤15
外形尺寸（mm）	590*390*290
主機(jī)重量（kg）	25

 
配置表

基本配置	TPY-1	橢圓偏振測厚儀主機(jī)	1臺
	TPY-1	主機(jī)電控箱	1套
		二氧化硅膜樣片	1片
	TPY-1	橢圓偏振測厚儀軟件	1套
	需另配	計算機(jī)及打印機(jī)	1套