真空外覆法（真空Hood法，真空氦罩法）

• 將待測件內部抽成真空，外面包裹充滿氦氣的外罩。如果有泄露，在待測件內部可以檢測出氦氣的存在。

• 適用于流量計等的測試。

吹入法（吸槍法，sniffer法）

• 因為強度或者其他原因，在待測件不能被抽成真空的情況下，可以在待測件內部加壓注入氦氣（或者氦氣與其他氣體的混合氣體），如果有泄露，可以使用吸槍在泄漏點附近檢測出氦氣。

• 適用于壓縮機、熱交換器、冷凝器等的測試。

※需要使用吸槍。

浸入法（bombing法，鋼瓶法）

• 將被測件使用加壓裝置充入氦氣，放入測試倉中。由于壓力差的存在，如果被測件又泄露，在測試倉中將會檢測到氦氣。

• 適用于石英晶體振蕩器、SAW濾波器等的泄露檢測。

※需要加壓裝置和檢測倉。

真空容器法（Chamber法，ベルジャー法）

• 將被測件充入氦氣，放在粗真空倉中，真空倉排氣管與檢漏儀相連。如果有泄露，在真空倉中將會檢測到氦氣。

• 適用于滅火器，氣囊充氣設備的測試等。
  

并列排氣法

• 用于大型的設備和大容積真空倉，通過檢測抽氣設備所排出的氦氣檢測泄露。

• 適用于真空蒸鍍設備、吸收式制冷機、真空爐等設備的檢測與維護。

※無線檢漏設備為選配。