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Filmetrics 薄膜測厚儀 F54

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2019/10/23 17:19:43
  • 訪問次數(shù) 777

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自動化薄膜厚度分布圖案系統(tǒng)
依靠 F54 *的光譜測量系統(tǒng),可以很簡單快速地獲得大直徑 450 毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用 r-θ 極坐標移動平臺,可以非??焖俚亩ㄎ凰铚y試的點并測試厚度,測試非??焖?,大約每秒能測試兩點。 系統(tǒng)中預設(shè)了許多極坐標形、方形和線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測試點。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。

 

可測樣品膜層
基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量。可測樣品包括:
相關(guān)應用
半導體制造
光刻膠  
氧化物/氮化物/SOI  晶圓研磨減薄/封裝

 

液晶顯示器
盒厚  聚酰亞胺  ITO    

光學鍍膜  

硬涂層  抗反射涂層  濾光片
 

微電子
光刻膠  硅膜  氧化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡

 

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