Prep-5型 等離子清洗/刻蝕機
真空艙體 ；Φ150mm × L320 mm 水平 （5 升）
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 數(shù)字計時器可自動設(shè)定操作程序
* 皮拉尼真空泵可設(shè)定重復(fù)操作
* 銅氣體管、氣體流量計、 針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 半自動控制
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-200W
* 自動阻抗匹配
* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發(fā)、艙門鎖
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入反應(yīng)艙
* 規(guī)格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type Trivac D2.5B （2.5 m3/h）
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體
配件選裝指南
· 13.56MHz射頻發(fā)生器
· 2.45GHz射頻發(fā)生器
· 半自動控制系統(tǒng)
· 全自動控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)
· 計算機（PC）控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時可記錄處理的整個過程
· 附加氣體通路
· 自動真空艙門
· 設(shè)備自動門
· 條碼閱讀器
· 偏壓測量系統(tǒng)
· 碟型閥
· 排氣過濾系統(tǒng)
· 適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)
· 艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸
· 粉末處理裝置 · 法拉第容器
等離子清洗應(yīng)用領(lǐng)域:
金屬---去除金屬表面的油脂,油污等有機物及氧化層
汽車制造---用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理
紡織品生產(chǎn)---用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理
生物醫(yī)療---培養(yǎng)皿提高活性，血管支架，注射器，導(dǎo)管和各種材料的親潤，交合涂覆前處理。
航空航天---絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理
電子---線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進可焊性
半導(dǎo)體行業(yè)---晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預(yù)處理
LED---支架清洗封裝前預(yù)處理
塑料橡膠- --提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。
等離子清洗機應(yīng)用：
1．表面活化/清洗； 2. 等離子處理后粘合; 3. 等離子蝕刻/活化; 4. 等離子去膠; 5. 等離子涂鍍（親水,疏水）; 6. 增強邦定性.
