臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器，接觸式臺階儀是探針劃過被測樣品表面隨表面高低起伏上下運動，位移傳感器記錄其相對零點偏移范圍，計算出真實臺階高度。

臺階儀
NanoMap-500LS
 
接觸式三維表面臺階儀NanoMap-500LS
 
NanoMap 500LS探針三維臺階儀 
特點 
? 常規(guī)的探針臺階儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的*結(jié)合 
? 雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到*化的小區(qū)域三維測圖 
? 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。 
? 接觸式探針臺階儀在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機可對樣品直接觀察 
? 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率?。▃ui?。?１nm ） 
? 軟件設(shè)置恒定微力接觸 
? 簡單的2步關(guān)鍵操作，友好的軟件操作界面 
應(yīng)用 
三維表面形貌/臺階儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將臺階儀帶入了另一個高精度測量的新時代。

三維表面輪廓測量和粗糙度測量，即適用于精密拋光的光學(xué)表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機加工零件。 
薄膜和厚膜的臺階高度測量 
劃痕形貌，磨損深度、寬度和體積定量測量 
空間分析和表面紋理表征 
平面度和曲率測量 
二維薄膜應(yīng)力測量 
微電子表面分析和MEMS表征 
表面質(zhì)量和缺陷檢測 
環(huán)境要求 
濕度：10-80%， 相對濕度，無冷凝 
溫度：65-85 華氏度（△T＜1度/小時） 
電源要求：110/240V，50/60 Hz 

技術(shù)規(guī)格 標準樣品 臺階高度標準樣品（NIST認證） 100μm 
系統(tǒng) 光學(xué)照相機視場范圍 1.5 X 1.5mm 
光學(xué)照明 軟件控制暗場和亮場 
電腦 Pentium IV, USB2.0聯(lián)接 
操作系統(tǒng) Win XP 
系統(tǒng)動力需求 90-240V，350W 
空間尺寸 20’’ 寬X 22’’長 X 25’’高 
重量 160lb 
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