雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合（亦稱雙位組合）測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進(jìn)行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。 雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機與四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。 測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析 點擊放大圖片 技　術(shù)　指　標(biāo) ： 測量范圍 電阻率：10-5～105 Ω.cm（可擴展）； 方塊電阻：10-4～106 Ω/□（可擴展）； 電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm； 電阻：10-5～105 Ω； 可測晶片厚度 ≤3mm 可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）； 200mmX200mm（配S-2B型測試臺）； 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）； 恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) 數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示； 四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓（總力）； 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見探頭附帶的合格證） 模擬電阻測量相對誤差 （ 按JJG508-87進(jìn)行） 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 整機測量zui大相對誤差 （用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±4% 整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4% 計算機通訊接口 并口 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強光直射； 配置1. 四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、測試軟件（含測控模塊） 配置2. 四探針測試儀主機、S-2A型探針臺、FT-201四探針探頭、臺式電腦