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AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)_晶圓搬運(yùn)_國產(chǎn)晶圓搬送機(jī)

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上海蔡康光學(xué)儀器有限公司
2024-05-29 17:33:22
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【簡單介紹】

全新半導(dǎo)體工業(yè)檢測(cè)產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

【詳細(xì)說明】

全新半導(dǎo)體工業(yè)檢測(cè)產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
◆ 一個(gè)晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個(gè)IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級(jí)厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。

◆推出了AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)（晶圓搬送機(jī)），擁有 AWL046、AWL068、AWL812三種機(jī)型，多類配置分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測(cè)，適應(yīng)范圍廣、搭配靈活。

◆AWL系列可自由設(shè)置的檢查模式，充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作舒適、簡便，又可稱作晶圓自動(dòng)搬送機(jī)。

◆360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度70°，晶背 1 傾斜角度 90°，晶背 2傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度，可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。

◆人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)
LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗(yàn)，可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序，調(diào)試參數(shù)一目了然。手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可提高操作者的舒適度和工作效率，充分體現(xiàn)了國產(chǎn)晶圓搬送機(jī)的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)理念。

◆精密微觀檢查
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動(dòng)控制系統(tǒng)，可排查 μm 級(jí)異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。

應(yīng)用領(lǐng)域：

主要技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	AWL046	AWL068	AWL812
晶圓尺寸	100mm / 150mm	150mm / 200mm	200mm / 300mm
晶圓最小厚度	150um	150um / 180um	180um / 250um
晶舟類型	Open Cassette		Open Cassette / FOUP、FOSB
檢查模式設(shè)置	全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動(dòng)選擇
晶舟掃描（有 / 無 / 斜片）	●	●	●
晶舟內(nèi)凸片偵測(cè)報(bào)警	≥4mm		≥5mm
晶圓預(yù)定位（平邊、Notch）	●	●	●
朝向設(shè)置（平邊、Notch）	非接觸式定位平邊、Notch，支持0°、90°、180°、270°朝向設(shè)置
檢查功能	晶面宏檢（旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢1（外圈、旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢2（中心）		晶面宏檢（旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢1（外圈）、晶背宏檢2（中心）
外觀尺寸（WDH）	14507001600mm	15507001600mm	240014002450mm
電源需求	1P / 220V / 10A		1P / 220V / 16A
真空需求（負(fù)壓 / 正壓）	-70KPA ～ -80KPA		-70KPA ～ -80KPA / 0.5MPA
適用顯微鏡	6RC/8RC金相顯微鏡
光學(xué)系統(tǒng)	無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)，放大倍率50X-1000X
觀察方式	明場、暗場、偏光、DIC
目鏡	高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X22mm，可帶視度可調(diào)，可帶測(cè)微尺		高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X25mm，可帶視度可調(diào)，可帶測(cè)微尺
觀察頭	鉸鏈三目觀察筒，5-35度傾角可調(diào)，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100		鉸鏈三目觀察筒，0-35度傾角可調(diào)，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100
物鏡	長工作距平場明暗場半復(fù)消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X
轉(zhuǎn)換器	明暗場6孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）
機(jī)架	反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm，帶有防止下滑的松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)上限位裝置，內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)		明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動(dòng)孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶12V10W LED光源控制部件
機(jī)架	明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動(dòng)孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片及偏光裝置插槽，帶12V10W LED燈箱
載物臺(tái)	6英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)，晶圓承片臺(tái)臺(tái)面φ38mm，可360°旋轉(zhuǎn)，移動(dòng)行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），觀察范圍：170mmX170mm，帶離合器手柄	8英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)，晶圓承片臺(tái)臺(tái)面φ60mm，可360°旋轉(zhuǎn)，移動(dòng)行程280mm（X方向）×210mm（Y方向），觀察范圍：210mm×210mm，帶離合器手柄	12英寸自動(dòng)平臺(tái)，X、Y、Z、φ多方向調(diào)節(jié)，晶圓承片臺(tái)臺(tái)面φ70mm，可360°旋轉(zhuǎn)，移動(dòng)行程600mm（X方向）×500mm（Y方向），觀察范圍：310mm×310mm，φ方向可±5度旋轉(zhuǎn)，各軸運(yùn)動(dòng)速度可以高低速切換
其他	濾色片插板、起/檢偏鏡插板、DIC組件、攝像接口、調(diào)整平臺(tái)、相機(jī)、專業(yè)晶圓檢查軟件等


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