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實(shí)驗(yàn)電爐PECVD系統(tǒng) 參考價(jià):面議
實(shí)驗(yàn)電爐PECVD系統(tǒng)主要用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。PECVD開啟式管式爐系統(tǒng) 參考價(jià):面議
PECVD開啟式管式爐系統(tǒng)在真空壓力下,加在電感線圈的射頻電場,使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電,在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場的作用下獲得充足的能量,其...(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)