目錄:北京歐屹科技有限公司>>光學(xué)檢測設(shè)備>> OPTELICS HYBRID+白光共聚焦顯微鏡
OPTELICS HYBRID+ 簡介:
日本Lasertec公司推出了Optelics混合共焦顯微鏡,將激光和白光源組合在一體,用于多功能高性能共聚顯微鏡.兩組共焦光學(xué)器件與附加器件相結(jié)合,包括干涉儀,微分干涉對比觀察和光譜反射膜厚度測量儀。
集6項(xiàng)功能于一體
應(yīng)用:各種材料的觀察和形狀測量可以進(jìn)行毫米級到納米級的非接觸、
非破壞性形狀測量和觀察。它可以處理廣泛的工業(yè)領(lǐng)域中的各種樣品。
工業(yè)領(lǐng)域:
半導(dǎo)體材料(Si、Sic、抗蝕劑)、器件、電子元件
MEMS、微制造零件、涂層材料
薄膜、有機(jī)/無機(jī)材料、光學(xué)元件、薄膜
生物領(lǐng)域:
微流道
導(dǎo)管、劃痕等異物
可用于從研發(fā)領(lǐng)域接近量產(chǎn)的領(lǐng)域。
功能介紹:
白光共聚焦功能
寬視野觀察提高效率
采用白光光源可以獲取高清全彩圖像,有助于觀察。
激光共聚焦功
高倍率和高分辨觀察
配備波長405nm的半導(dǎo)體激光器、無需預(yù)處理即可清晰采集納米級超精細(xì)結(jié)構(gòu),分辨率堪比電子顯微鏡。
鈮酸鋰 倍率:11000倍 半導(dǎo)體部件 倍率:3700倍
微分干涉功能
納米級凹凸觀察
共聚焦和微分干涉對比(DIC)的組合提供了樣品細(xì)微缺陷的清晰化觀察,可不受背面影響的情況下觀察透明樣品的正面
共聚焦觀察 共聚焦微分干涉觀察
垂直掃描白光干涉功能
毫米視野下的納米級臺階高度測量
高度分布數(shù)據(jù)是通過獲取白光和雙光干涉物鏡在光軸方向掃描時產(chǎn)生的干涉條紋強(qiáng)度峰值處的z-scale值來計算的。該方法適用于寬視場測量,因?yàn)槔碚撋显谌魏畏糯蟊稊?shù)的物鏡下都具有相同的高度測量分辨率。
1.5mm視野下44nm的測量 數(shù)um高度下10nm-100nm高度測量
相移干涉測量功能
埃米級臺階高度測量
由于單波長光和兩光束干涉物鏡產(chǎn)生的干涉條紋是基于樣品表面的光程差分布,因此通過相位信息分析使用四個
相對于光軸不同位置的干涉條紋圖像來計算高度分布數(shù)據(jù)。
反射光膜厚測量功能
納米級透明膜厚測量
使用波長選擇功能測量6個波長反射率,使用光學(xué)模型擬合計算膜厚??梢詼y量幾納米到1微米的單層/多層膜厚。由于測量區(qū)域是根據(jù)共焦觀察圖像定的,因此可以計算亞微米微小區(qū)域到幾毫米整個視場的平均膜厚。此外,由于可以測量每個像素的膜厚,因此可以測量膜厚分布。
規(guī)格參數(shù):
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)