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雙頻激光干涉儀ZLM800雙頻激光干涉儀
- 公司名稱：
- 更新時間：
- 所 在 地：
- 生產地址：
- 瀏覽次數：
- 寧波市江東歐億檢測儀器有限公司
- 2016-01-12 13:00:00
- 寧波市
- 浙江寧波市
- 1402
【簡單介紹】
【詳細說明】
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| 產品名稱： | 雙頻激光干涉儀ZLM800 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 型 號： | ZLM800 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 價 格： | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 品 牌： | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 產品介紹： | 產品功能 ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量、角度變化量的監(jiān)測、移動平臺運動情況的檢測、光刻機幾何量的測量、數控機床幾何量的測量等，zui多可實現六軸聯動。也可通過位移 偏擺 俯仰的三角關系測量檢測物體的振動變化。 性能優(yōu)勢 l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內只有兩家雙頻激光干涉儀的生產商，德國耶拿爾公司是其中的一家。 l 全部部件皆在德國生產制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。 l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。 l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。 l 計算機輔助光路調整，調整結果更準確。 l 采樣頻率更快，zui高達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。 l 被測物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。 l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。 l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。 l 對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。 技術參數
應用案例 以下是為*某項目設計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應用案例。在*個案例中，用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動，實時測試兩個擺鏡對應量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個案例中，用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況，2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。 下述案例是為國內某研究所某項目設計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數據是被監(jiān)視目標Ⅰ、被監(jiān)視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。 ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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