移動(dòng)端
直播推薦
回放
回放
企業(yè)動(dòng)態(tài)
- 吉林省力盛制藥有限公司采購佳航的顯微熔點(diǎn)儀JHX-5Plus
- 山東金城醫(yī)藥有限公司采購佳航的全自動(dòng)密度計(jì)Digipol-D50
- 祝賀2023年全國(guó)機(jī)械行業(yè)職業(yè)技能競(jìng)賽―“三豐杯” 在浙江杭州順利舉行
- 2023年河北省全省無損檢測(cè)技能比武暨能力對(duì)比 完滿收關(guān)
- 喜訊 | 智易時(shí)代一項(xiàng)發(fā)明獲歐洲發(fā)明授權(quán)！
- 法國(guó)CA 10101E/CA 10141E/CA 10141水質(zhì)分析儀上市
- 東盛友邦（亳州）制藥有限公司采購佳航的全自動(dòng)旋光儀Digipol-P610
- 重慶沃肯新材料科技股份有限公司采購佳航全自動(dòng)旋光儀JH-P300
推薦展會(huì)
【儀器網(wǎng) 產(chǎn)品文庫】橢偏儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。
橢偏儀發(fā)展展望
橢偏測(cè)量具有非接觸性、非破壞性、測(cè)量精度高和適于測(cè)量較薄膜層的特點(diǎn)，成為了半導(dǎo)體工業(yè)常用的薄膜測(cè)量工具。由于半導(dǎo)體制造業(yè)在器件關(guān)鍵尺寸上的測(cè)量要求越來越，薄膜常用材料日益多樣化，薄膜的結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜，需要進(jìn)一步改進(jìn)橢偏儀。目前橢偏儀的主要發(fā)展趨勢(shì)包括:
1、尋找較高強(qiáng)度的紅外光源，拓寬橢偏儀的光譜范圍，以準(zhǔn)確確定異質(zhì)結(jié)構(gòu)的多層膜結(jié)構(gòu);
2、建立包含成像橢偏儀的校準(zhǔn)因素的系統(tǒng)模型，以減小成像橢偏儀的測(cè)量誤差;
3、對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)常用薄膜材料建立準(zhǔn)確的物理模型，以減小系統(tǒng)的計(jì)算誤差;
4、引入能夠同步進(jìn)行數(shù)據(jù)獲取和數(shù)據(jù)處理的控制系統(tǒng)，并利用優(yōu)化算法，較快得出薄膜系統(tǒng)待求參量，以提高橢偏儀的測(cè)量速度，增強(qiáng)橢偏儀的在線檢測(cè)和控制功能。
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
浙公網(wǎng)安備 33010602002722號(hào)
第62屆中國(guó)高等教育博覽會(huì)
展會(huì)城市：重慶市展會(huì)時(shí)間：2024-11-15