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　　應(yīng)用背景

　　有機(jī)發(fā)光二極管（organic light-emitting diode，簡(jiǎn)稱OLED）又稱為有機(jī)發(fā)光半導(dǎo)體，具有自發(fā)光、廣視角、幾乎無(wú)窮高的對(duì)比度、較低能耗、*反應(yīng)速度等顯著的優(yōu)點(diǎn)。OLED通常由多層功能材料成膜鍍?cè)诨咨纤鶚?gòu)成，這些功能膜層包括陰陽(yáng)電極，以及兩極間的導(dǎo)電和光發(fā)射有機(jī)材料。目前，銦錫氧化物（簡(jiǎn)稱ITO）有機(jī)膜層在OLED中得到較多的應(yīng)用，該類氧化物晶格結(jié)構(gòu)中含有氧原子的缺陷，為自由電子的運(yùn)動(dòng)和傳輸提供了空間，在兩電極的作用下，自由電子發(fā)生定向運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)了ITO薄膜的導(dǎo)電特性；除能導(dǎo)電外，ITO薄膜還具有較高的透光性能，這是由于氧化物中原子鍵存在間隙，自由電子的密度不高，從而光線可以穿透ITO薄膜的結(jié)果。因此， OLED的光電性能與ITO薄膜的透過(guò)率密切相關(guān)，一般要求可見(jiàn)光區(qū)域的透過(guò)率高于80%。另一方面，薄膜的厚度勢(shì)必會(huì)對(duì)光在其中的透過(guò)率產(chǎn)生影響，當(dāng)厚度大于70nm時(shí)，透過(guò)率將減小。因而在OLED的生產(chǎn)和研發(fā)過(guò)程中，ITO導(dǎo)電膜的透過(guò)率以及厚度是需要被準(zhǔn)確檢測(cè)和表征的。

　　應(yīng)用測(cè)量原理介紹

　　ITO薄膜的測(cè)量應(yīng)用包括其在可見(jiàn)光波段的透過(guò)率以及薄膜的厚度。測(cè)量原理分別介紹如下：

　　透過(guò)率：透過(guò)是光線在物質(zhì)中不同于反射和吸收的一種行為方式，透過(guò)率為穿過(guò)物質(zhì)的光強(qiáng)相對(duì)于原始光強(qiáng)的百分比。

　　薄膜厚度：薄膜厚度的測(cè)量是基于光波的干涉現(xiàn)象，具體可表述為光束照射在薄膜表面，由于入射介質(zhì)、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系數(shù)值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面發(fā)生反射，反射光波相互干涉，從而形成干涉光，這些干涉光在不同相位處的強(qiáng)度將隨著薄膜的厚度發(fā)生變化。通過(guò)對(duì)干涉光的檢測(cè)，結(jié)合適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)模型即可計(jì)算得到薄膜的厚度。

微型光纖光譜儀優(yōu)勢(shì):

微型光纖光譜儀在ITO薄膜檢測(cè)中，具有以下顯著的優(yōu)勢(shì)：

1. 體積小巧，適合原位在線監(jiān)測(cè)。
2. 易于操作、控制。            
3. 低成本；
4. 快速測(cè)量全譜。

海洋光學(xué)推薦應(yīng)用配置

1. ITO薄膜透過(guò)率檢測(cè)

海洋光學(xué)的微型光纖光譜儀，在配置采樣平臺(tái)STAGE-RTL以及光源后即可應(yīng)用于ITO薄膜的透過(guò)率檢測(cè)。具體配置如下：

2.  ITO薄膜膜厚檢測(cè)

海洋光學(xué)NanoCalc膜厚儀檢測(cè)系統(tǒng)，配置有采樣平臺(tái)、UV-VIS反射探頭，可應(yīng)用于ITO薄膜的膜厚檢測(cè)。具體配置如下：

薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)配置