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【中國儀器網(wǎng) 維修保養(yǎng)】擴散泵返油怎么辦?如果真空規(guī)管沒有損壞，返油一般是不需要修理的，主要清洗真空室內(nèi)擴散泵的油。使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干凈是zui關(guān)鍵的，如果室內(nèi)還有油的存在，就會出現(xiàn)鍍白膜，膜層質(zhì)量很不好等現(xiàn)象，并不是因為電鍍設(shè)備的損壞，而是因為真空室有油。
擴散泵經(jīng)常返油可能是以下問題：
1、冷卻水路不通暢或水壓不夠，導(dǎo)致冷卻能力下降，擴散泵上半部分變熱，油蒸汽不能良好液化。解決辦法將擴散泵進水管接以4mpa的氣源，吹出水垢，接出水管同樣以4mpa吹。若水垢結(jié)的很多并且牢固，可通入*?；蛘吒鼡Q擴散泵。
2、加熱溫度過高，由于擴散泵加熱器功率與額定功率不符，過高，造成蒸汽量大，可造成返油，更換電爐絲可解決。
3、加油量過高，加油量高容易導(dǎo)致蒸汽量循環(huán)緩慢，向下級壓縮時滯留，造成返油，根據(jù)廠家提供信息進行加油量的控制可避免。
4、油氧化，擴散泵油氧化后，粘稠度和蒸汽流都受到影響，達不到噴射速度，自然就返到真空室內(nèi)?？芍v擴散泵拆下，將泵心取出，用120#汽油進行清洗，然后打磨，將結(jié)碳和黑色氧化層打磨掉，再次用120#汽油清洗、晾干，然后安裝，倒入擴散泵油或硅油，加熱幾次以后才可以投入工作。防止污染工件。
5、若擴散泵服役時間超過8-10年，或在惡劣的環(huán)境下使用，可考慮更換。提高工作效率及維護成本。
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