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從工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程自動(dòng)化的應(yīng)用數(shù)量米說(shuō),差壓變送器比壓力變送器還多.此處按差壓介紹,原理和結(jié)構(gòu)與測(cè)Ⅲ力的基本上一洋。
電容式差壓傳感器的原理。
將左右對(duì)稱的不銹鋼基座2和3的外側(cè)加T成Ⅱ狀波紋溝槽,并焊±渡紋隔離膜片I和4。基座內(nèi)側(cè)有玻璃層5.基座和玻璃屢*都有孔,玻璃層內(nèi)表面軎成口球面,球面除邊緣部分外鍍“盒Ⅸ膜6.此金屬膜層有導(dǎo)鰻通往外部,為電容的左右定極板.左右對(duì)稱的上述結(jié)構(gòu)*夾^并焊接彈性平膜片.即測(cè)量膜片7.為電喜的中兜動(dòng)敏板。測(cè)量膜片左右空間被分隔成兩r室.故有兩室結(jié)椅之稱,國(guó)外也有室結(jié)構(gòu)的傳感器.其左右州室有管路相通。
在測(cè)量膜片左右兩室中充滿硅油.當(dāng)左右隔目3 6 1Ⅲ$镕目∞q#《}&*《#離膜片分別承受高壓舢和低壓A時(shí).硅油的不可Ⅲ縮性和流動(dòng)性便能將差Ⅲjp=“一P。傳遞到測(cè)量膜片的左右Ⅲ±。困為測(cè)量膜片在焊接前加有預(yù)張力,所以當(dāng)差壓Ap一0時(shí)十分平整使得定板板左右兩電容的容量完壘相等.即C—C.電容量的差值為零,在有差壓作用時(shí).測(cè)量膜片發(fā)生變形,乜就是動(dòng)檻板向低壓側(cè)定極扳靠近.同時(shí)遠(yuǎn)離高壓側(cè)定極板,使得電容C c>c“??梢?,這就是差動(dòng)電容式壓力變送器或差壓傳感器。
采用差動(dòng)電容式壓力變送器的好處是.靈蛐度高.可改善線性,井呵喊少由于介電常數(shù)s受溫度影響引起的不穩(wěn)定性。
為了分析*動(dòng)彀扳引起的阿刪電容變化.呵參看示意圉,圖3 s 2。
在圖3 6 20)中,無(wú)差Ⅲ時(shí).動(dòng)啞板兩側(cè)初始電存皆勻(1.有差壓時(shí).動(dòng)嘏扳變形到虛線位置,它與初始位髓q的假想電容值用(、一表i。虛線位置和低壓側(cè)定掇Ⅸ問的電容為C。,與高壓側(cè)定極板間的電容為。一。這口個(gè)電容C…C.C.C”之間有圖(3 6 2)(6)的等效關(guān)系。
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