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普發(fā) Pfeiffer 推出 OmniGrade 定制殘余氣體分析系統
近日上海伯東德國 Pfeiffer 推出 新產品OmniGrade 定制殘余氣體分析系統, 用于復雜殘余氣體測量, 進行純度測試. OmniGrade 在高真空條件下使用質譜法正確測定脫氣率. 避免由于分子污染導致的影響, 達到更高水平的清潔度. OmniGrade 的上市, 擴展了德國 Pfeifffer 殘余氣體分析的產品組合, 提供更高水平的價值創(chuàng)造, 從而增加客戶的利益.
OmniGrade 殘余氣體分析應用領域
半導體生產中的 EUV 光刻
電子顯微鏡
超高真空 UHV 中的應用
OmniGrade 殘余氣體分析系統基于模塊化原理, 可滿足各種測試要求
上海伯東德國 Pfeiffer 根據每個測試要求提供量身定制的分析系統, 滿足客戶所需精度的測試結果. 殘余分析系統采用全系列的德國 Pfeiffer 產品, 比如四極桿質譜儀, 真空泵, 腔室和其他組件.
四極桿質譜儀 (PrismaPro 或 HiQuad ) 的選擇和腔室數量的確定對可實現的檢測限有顯著影響. 在標準系統中有兩個腔室, 一個放置測試樣品, 另一個放置光譜儀. 如果需要, 該結構可以補充第三個腔室. 即閘室. 這避免了測量腔室受到環(huán)境污染并顯著減少了表面積. 通過烘烤系統, 可以對其進行調節(jié), 從而進一步提高測量能力.
OmniGrade 殘余氣體分析系統配置
| 三腔室系統 | 二腔室系統 | |
| 參考圖片 |
|
|
| 分析目的 | 低放氣率小零件的分析 | 中型零件測試 |
| 腔室尺寸 | DN 160/250 | 750 x 750 x 750 mm |
| 測量設計 | With Load Lock | Without Load Lock |
| 分子泵 | 全磁浮或者復合軸承 | 全磁浮或者復合軸承 |
| 質譜分析儀 | HiQuador 或PrismaPro | HiQuador 或PrismaPro |
| 密封閘閥 | 金屬 | 金屬或氟橡膠 |
| 校準 | 手動或自動 | |
| 潔凈室兼容 | 可選 | |
| 溫度控制系統 | 主動或被動 | |
OmniGrade 殘余氣體分析系統特點
使用模塊化系統根據您的需求定制執(zhí)行
檢測限低
全自動測量過程
根據 ASML的清潔度等級 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 進行測試
上海伯東累計多年真空經驗, 提供各類定制真空系統, 例如氦質譜檢漏系統, 真空計校準系統, 殘余氣體分析系統等, 滿足半導體, 工業(yè), 科研各個領域的需求.
若您需要進一步的了解殘余氣體分析儀詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 羅小姐
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