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Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 應(yīng)用于碲鎘汞晶體電學(xué)特性研究

來(lái)源:伯東企業(yè)(上海)有限公司   2023年01月05日 14:21  

某研究機(jī)構(gòu)采用Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 對(duì)碲鎘汞晶體進(jìn)行蝕刻, 并研究碲鎘汞晶體蝕刻后的電學(xué)特性.

 

Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 技術(shù)參數(shù):

基板尺寸

< Ф8 X 1wfr

樣品臺(tái)

直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉(zhuǎn)

離子源

16cm 考夫曼離子源

均勻性

±5% for 4”Ф

硅片刻蝕率

20 nm/min

溫度

<100

 

 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE  離子源是配伯東公司代理美國(guó) 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160

 

伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術(shù)參數(shù):

 離子源型號(hào)

 離子源 KDC 160 

Discharge

DC 熱離子

離子束流

>650 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

16 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

2-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

中和器

燈絲

 

Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 真空腔采用 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持真空腔的真空度.

 

試驗(yàn)利用遷移率譜分析了離子束刻蝕后的碲鎘汞晶體, 發(fā)現(xiàn) 180μm 的 p 型碲鎘汞晶體在刻蝕后轉(zhuǎn)為 n 型, 且由兩個(gè)不同電學(xué)特性的電子層組成:低遷移率的表面電子層和高遷移率的體電子層.

通過(guò)分析不同溫度下的遷移率譜, 表明表面電子層的遷移率不隨溫度而變化, 而體電子層的遷移率隨溫度的變化與傳統(tǒng)的n型碲鎘汞材料一致.

不同厚度下的霍爾參數(shù)表明體電子層的電學(xué)性質(zhì)均勻.

另外,通過(guò)計(jì)算得到表面電子層的濃度要比體電子層高 2—3 個(gè)數(shù)量級(jí).

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生    


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