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Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100用于蝕刻覆銅板

來源:伯東企業(yè)(上海)有限公司   2023年01月04日 14:26  

某印制板線路板生產(chǎn)工廠采用伯東 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 將覆銅板上不需要的銅蝕刻掉, 將需要保留的銅保留下來.

 

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 技術參數(shù):

Model

MEL3100

Wafer size

3"~6"

Wafer per batch

1 wafer

Cassette No.

25 wafers

Cassette Q'ty

1pc.

Throughput

10 (wafer/hr) *1

Pressure Ultimate

8×10-5 (Pa) *2

Pressure Process

2×10-2 (Pa) *2

Etching Rate

>10 (nm/min)@SiO2 *3

Etching Uniformity

±5%@132mm (6") *3

Wafer surface temp.

<100℃ *3

Stage rotating

1~20 (rpm) ±5%

Stage tilting

±90°±0.5°

*1: Estimated process time 5min

*2: No wafer on stege / process chamber

*3: Depending on process

 

該工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 的主要原因:

1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質量

2. 采用高質量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

3. 占用空間小

4. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上

5. 高冷卻效果

6. 良好的重復性和再現(xiàn)性的旋轉和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機

7. 快速響應時間和本地服務能力, 減少停機時間的工具

 

工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 運行結果:

1. 提高蝕刻過程的均勻性

2. 提高精密程度, 提高產(chǎn)線的生產(chǎn)工藝能力

3. 提高產(chǎn)線的生產(chǎn)率, 降低勞動強度, 保證生產(chǎn)的連續(xù)性

 

若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡方式 :

上海伯東 : 羅先生


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