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電子探針是一種利用電子束作用樣品后產(chǎn)生的特征X射線進行微區(qū)成分分析的儀器，可以用來分析薄片中礦物微區(qū)的化學組成。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外，還有U元素以后的元素以外都可進行定性和定量分析。
第一臺電子探針是法國制成的，是在1949年用電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成；1953年前蘇聯(lián)制成了X射線微區(qū)分析儀，以后英、美等國陸續(xù)生產(chǎn)；第一臺掃描電子探針儀是美國于1960年制成，不僅能對試樣作點或微區(qū)分析，而且能對樣品表面微區(qū)進行掃描。
電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的，該儀器實質(zhì)上就是這兩種儀器的科學組合。
電子探針的分析對象是固體物質(zhì)表面細小顆?；蛭⑿^(qū)域，最小范圍直徑為1μm。電子探針可測量的化學成分的元素范圍一般從原子序數(shù)12(Mg)至92(U)，原子序數(shù)大于22的元素可在空氣通路的X射線光譜儀上進行測量。
原子序數(shù)12至22的元素要在真空下進行成分測定，原子序數(shù)12以內(nèi)的元素需要增添一些特殊設(shè)備才能分析。原子序數(shù)50以上的元素用L系X射線光譜進行分析，原子序數(shù)50以下的元素也可以分析，如Sn(50)可用K系x射線光譜進行分析。
電子探針的靈敏度低于X射線熒光光譜儀，原因是電子探針X射線的本底值高于后者，但電子探針的絕對感量比其他儀器都高。此外，后期生產(chǎn)的儀器，可作X射線背散射照相、透視照相。能兼作透射電鏡、能進行電子衍射、能作電子熒光觀察等。
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