PE100等離子處理機(jī)是一款集綜合功能于一身的重量級(jí)產(chǎn)品。既可以應(yīng)用于大學(xué)，科學(xué)研究機(jī)構(gòu)，又能在工業(yè)級(jí)應(yīng)用領(lǐng)域針對(duì)于小批量生產(chǎn)發(fā)揮強(qiáng)大作用。

美國(guó)產(chǎn)Plasma Cleaning System

PE-100實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)

     PE公司成立于1980年，致力于提供電子行業(yè)用的等離子設(shè)備及相關(guān)服務(wù)。通過(guò)幾十年的發(fā)展，公司發(fā)展成為提供等離子設(shè)備方面的專家，可為客戶提供專業(yè)的產(chǎn)品和解決方案，先后眾多企業(yè)提供等離子處理設(shè)備：美國(guó)宇航局NASA, 美國(guó)波音Boeing，*的電子保安系統(tǒng)產(chǎn)品制造商美國(guó)霍尼韋爾Honeywell,美國(guó)摩托羅拉Moto, 德國(guó)拜耳Bayer，世界飛機(jī)的企業(yè)美國(guó)洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。

PE公司介紹

PE100等離子處理機(jī)是一款集綜合功能于一身的重量級(jí)產(chǎn)品。既可以應(yīng)用于大學(xué)，科學(xué)研究機(jī)構(gòu)，又能在工業(yè)級(jí)應(yīng)用領(lǐng)域針對(duì)于小批量生產(chǎn)發(fā)揮強(qiáng)大作用。

PE100等離子處理機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

1. 體積小，配備小型真空泵，無(wú)需占用很大空間，可以放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。

2.  性能可靠，“度量”寬大。真空腔體采用T6061經(jīng)過(guò)特殊處理的航空鋁合金材料無(wú)縫焊接，有效處理面積達(dá)到約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)可以輕松將大部分實(shí)驗(yàn)樣品放入真空腔體內(nèi)并實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)。

3. 配置靈活,PE-100擁有靈活多變的參數(shù)配置組合，能夠勝任使用者的不同需求。除了配置不同的頻率（100~460KHz，13.56MHz）,不同的頻率段，還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上，也配置了面板控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制，以滿足用戶的使用要求。

4. 可以配置*的過(guò)程控制的溫控電極與RIE反應(yīng)性等離子體處理系統(tǒng)。

5. 操作簡(jiǎn)便.設(shè)備的安裝非常簡(jiǎn)單，工廠還提供詳盡的說(shuō)明和相應(yīng)的管道等配件。面板的操作部分，在設(shè)計(jì)中做到盡可能簡(jiǎn)單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。

6.  安全保障：在小型設(shè)備中，*引入一鍵急停保護(hù)按鈕，當(dāng)參數(shù)設(shè)置有誤而設(shè)備已經(jīng)啟動(dòng)的時(shí)候，可以快速終止實(shí)驗(yàn)，以zui小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。

PE100等離子處理機(jī)參數(shù)：

PE100等離子處理機(jī)附件（可選件）

抽氣裝置：*型號(hào)：6.5 CFM  2級(jí)  直驅(qū)真空油泵

300w, 13.56Mhz可自動(dòng)調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器

一層電極

溫控電極

RIE反應(yīng)性電極

可控速率氮?dú)庾詣?dòng)吹掃裝置

靜電屏蔽裝置

樣品處理實(shí)例：LED燈基片  處理前后對(duì)比