美國(guó)產(chǎn)Plasma Cleaning System
臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
等離子表面處理機(jī)是一種非破壞性的表面處理設(shè)備，它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，在一定真空負(fù)壓的狀態(tài)下，以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性*的氣體等離子體，氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而達(dá)到對(duì)樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗，在極短時(shí)間內(nèi)有機(jī)污染物就被外接真空泵*抽走，其清洗能力可以達(dá)到分子級(jí)。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì)，所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗器既能加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，也能對(duì)樣品進(jìn)行消毒和殺菌。等離子清洗器現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。小型等離子清洗機(jī)以體積小、成本低、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于科研及小批量生產(chǎn)場(chǎng)合。
PE公司成立于1980年，致力于提供電子行業(yè)用的等離子設(shè)備及相關(guān)服務(wù)。通過(guò)幾十年的發(fā)展，公司發(fā)展成為提供等離子設(shè)備方面的專家，可為客戶提供專業(yè)的產(chǎn)品和解決方案，先后眾多企業(yè)提供等離子處理設(shè)備：美國(guó)宇航局NASA, 美國(guó)波音Boeing，*的電子保安系統(tǒng)產(chǎn)品制造商美國(guó)霍尼韋爾Honeywell，美國(guó)摩托羅拉Moto, 德國(guó)拜耳Bayer，世界飛機(jī)的企業(yè)美國(guó)洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。
PE公司介紹
PE擁有多項(xiàng)發(fā)明，在開發(fā)和制造等離子設(shè)備方面有許多突破性創(chuàng)新，公司擁有等離子體技術(shù)和制造技術(shù)領(lǐng)域里zui*的技術(shù)。這些技術(shù)的產(chǎn)品線是公司*的，生產(chǎn)的等離子設(shè)備是業(yè)界*的集清洗速度、完整均勻性、安全可靠性為一體的等離子處理設(shè)備。
PE-50小型等離子表面處理設(shè)備是專門針對(duì)于大學(xué),研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì)，突出移動(dòng)方便，超高功能和性能，操作方便的使用特性。
PE50等離子清洗機(jī)設(shè)備特點(diǎn):
1. 體積小,(寬356mm*高368mm*深457mm)，配備小型真空泵，無(wú)需占用很大空間，可以放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。
2. 性能可靠,“度量”寬大。真空腔體采用T6061經(jīng)過(guò)特殊處理的航空鋁合金材料無(wú)縫焊接，電極面積達(dá)到114 mm*152mm，腔體與電極之間的間隙可到51mm，可以輕松將大部分實(shí)驗(yàn)樣品放入真空腔體內(nèi)。
3. 配置靈活,PE50擁有靈活多變的參數(shù)配置組合，能夠勝任使用者的不同需求。除了配置不同的頻率（50KHz，13.56MHz）,不同的頻率段，還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上，也配置了面板控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制，以滿足用戶的使用要求。
4. 操作簡(jiǎn)便.設(shè)備的安裝非常簡(jiǎn)單，工廠還提供詳盡的說(shuō)明和相應(yīng)的管道等配件。面板的操作部分，在設(shè)計(jì)中做到盡可能簡(jiǎn)單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障：在小型設(shè)備中，*引入一鍵急停保護(hù)按鈕，當(dāng)參數(shù)設(shè)置有誤而設(shè)備已經(jīng)啟動(dòng)的時(shí)候，可以快速終止實(shí)驗(yàn)，以zui小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
PE50等離子清洗機(jī)參數(shù)：
外部尺寸 | 14”W X 19.5”D X 21.25”H 重量：60磅 （356mmW X 368mmD X 457mmH ） |
真空腔材質(zhì) | 耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔 |
真空腔尺寸 | 5.5”W x 7”D x 3.5”H （約140mm寬* 179mm深* 89mm高） |
電極尺寸 | 114 mm（寬）*152mm（深） 間隙51mm |
等離子發(fā)生器 | 功率 max.400w（可調(diào)） 頻率：50KHz（可選配13.56MHz） |
供氣 | 氣體流量控制器 0-25cc/min w/精密針形閥 |
壓力測(cè)量 | 熱電偶真空計(jì) 0-1Torr |
控制器 | PLC微電腦控制系統(tǒng)。鍵盤用戶界面，數(shù)字字母顯示器。設(shè)置方案工藝可以進(jìn)行自動(dòng)處理。 |
安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
電源 | 220VAC，14A |
PE-50升級(jí)版 | 處理面積191mm*222.5mm*89mm |
PE50等離子清洗機(jī)附件（可選件）
抽氣裝置：*型號(hào)：5 CFM 2級(jí) 直驅(qū)真空油泵
•氧氣發(fā)生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
•50KHz 400w 可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器，13.56Mhz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器,自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)電源(HF) RF Power Supply & Auto Matching Network
•接枝設(shè)備
高級(jí)裝置：
•PC /筆記本電腦的控制系統(tǒng)：裝載有等離子蝕刻軟件的一臺(tái)筆記本電腦是包括全自動(dòng)系統(tǒng)操作，流程排序，多配方存儲(chǔ)，以及其他高級(jí)功能。
•質(zhì)量流量控制器：附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
處理實(shí)例：光刻膠去除
功能：
• 對(duì)金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機(jī)污染物 （如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等）進(jìn)行超AA清洗。
• 改變某些材料表面的性能。
• 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，加強(qiáng)這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性。
• 清除金屬材料表面的氧化層。
• 對(duì)被清洗物進(jìn)行消毒、殺菌。
