MX51工業(yè)檢測半導體顯微鏡主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長時間操作也不會感到疲勞。150mm載物臺內置離合器，可實現輕松移動。
MX51工業(yè)檢測半導體顯微鏡 詳細介紹：
考慮了檢查效率的設計 高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
 內置離合器的載物臺手柄 | MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長時間操作也不會感到疲勞。150mm載物臺內置離合器，可實現輕松移動。 |
 電動物鏡轉換器示意圖 | 電動物鏡轉換器示意圖 電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。 |
鮮明圖像和的分辨率為特點的光學系 多種選擇可實現的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。
觀察影像實例
 明視場觀察 |  暗視場觀察 | 微分干涉觀察 | 熒光觀察 |
豐富的產品陣容，可按需選擇
MPLAPON 平場復消色差透鏡 MPLFLN 平場半復消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場用平場半復消色差透鏡
MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場半復消色差透鏡
LMPLFLN 長工作距離平場半復消色差透鏡
LMPLFLN-BD 明暗視場用長工作距離平場半復消色差透鏡
MPLN 平場消色差透鏡
MPLN-BD 明暗視場用平場消色差透鏡
SLMPLN 超長工作距離平場消色差透鏡
LCPLFLN-LCD 液晶長工作距離平場半復消色差透鏡
MX51工業(yè)檢測半導體顯微鏡軟件方案
使用數碼照相機記錄和保存數碼影像
幫助實現多種觀察方法的附件
近紅外線觀察單元
由可見光線領域到近紅外線領域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，備有各種對應近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
 近紅外線觀察單元 | 近紅外線觀察 |
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。
熒光鏡單元 |  熒光觀察 |
透射照明單元
透射照明單元 | 對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實現了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA（數值孔徑）的B型號兩種型號。 |
| MX51工業(yè)檢測半導體顯微鏡規(guī)格 | |||
| 光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正） | ||
| 機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
| 反射/透射 | 反射/透射 | ||
| 照明裝置 | 明暗視場反射照明管（明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光） | ||
| 通用反射照明管（明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光） | |||
| 照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
| 透射照明 | 纖維光導 | ||
| 對焦單元 | 電動/手動 | 手動 | |
| 行程 | 32 mm | ||
| 分辨率/微調靈敏度 | 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm | ||
| zui大樣本高度 | 30 mm | ||
| 物鏡轉換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | |
| 明暗視場微分干涉5孔 | |||
| 明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | |||
| 明暗視場微分干涉6孔 | |||
| 手動式 | 明視場5孔 | ||
| 明視場微分干涉6孔 | |||
| 明視場微分干涉中心輸出6孔 | |||
| 明視場微分干涉7孔 | |||
| 明暗視場5孔 | |||
| 明暗視場微分干涉5孔 | |||
| 明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | |||
| 明暗視場微分干涉6孔 | |||
| 載物臺 | 行程 | 6×6英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm?。ㄍ干湔彰鞣秶?00×100 mm） | |
| 4×4英寸右下（左下）手柄： 100（X）×105（Y）mm?。ㄍ干湔彰鞣秶?6×96 mm） | |||
| 觀察筒 | 廣角視場（視場數22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
| 正像 | 三目觀察筒 | ||
| 超寬視場（視場數26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | |
| 正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
| 附件單元 | IR單元/自動裝載 | ||
| 外形尺寸 | 430（W）×591（D）×495（H）mm（標準組合） | ||
| 重量 | 26 kg（標準組合） | ||
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