INCAWave是采用全聚焦的高精密波譜儀。精密的波譜儀和穩(wěn)定可靠的控制電路使INCAWave成為*秀的波譜系統(tǒng)。

　　儀器簡(jiǎn)介：

　　INCAWave是采用全聚焦的高精密波譜儀。精密的波譜儀和穩(wěn)定可靠的控制電路使INCAWave成為*秀的波譜系統(tǒng)。

　　主要特點(diǎn)：

　　·波譜儀的傾斜安裝不再對(duì)樣品的工作距離有苛刻的要求，樣品的高度可以在2mm內(nèi)變化，因此不再需要像電子探針及平行光波譜儀所要求的光學(xué)顯微鏡輔助系統(tǒng)。

　　·譜儀的分辨率zui低至2eV，能夠分辨非常接近的譜線。

　　·優(yōu)異的探測(cè)極限，多種元素zui低可至100ppm

　　·能量探測(cè)范圍高達(dá)10.8keV，(15keV可選)

　　·準(zhǔn)確的XPP基體修正方法

　　·可靠穩(wěn)定的機(jī)械設(shè)計(jì)，經(jīng)歷了25年的歷史考驗(yàn)

　　·與各種SEM的*配合包括低真空和ESEM

　　·低束流(<5nA)下獲得高空間分辨率，同時(shí)對(duì)包括輕元素在內(nèi)的多重元素準(zhǔn)確定量分析