一.用途無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂膠后的軟烘焙Softbaking)

一.用途

無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構。

二．特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避
免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE； 
4.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送
風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
三．產(chǎn)品技術參數(shù)
1.名稱及型號：無塵烘箱  COL-2D-A
2.主要技術指標：
2.1無塵等級：Class 100;
2.2溫度范圍：常溫+25～ 200℃, 
2.3溫度均勻度：±1.5%（空載）
2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸：W1110×H630×D720（兩箱式）
外形尺寸：W1980×H1975×D1545
2.8電源：380v , 50Hz，24Kw
3、箱體結(jié)構：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免
烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬
焊密封加工(防污染)。
4、溫控系統(tǒng)
4.1溫控器：韓國三元SP790溫控儀表
程式編輯：可編30個程式，每個程式可編300段.
顯示清晰直觀，可編程控制系統(tǒng)操作靈活方便，性能穩(wěn)定，工作更高效
4.2溫度測量：采用特制鍇裝鉑電阻。
4.3輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
5、完善的安全保護措施：漏電斷路器//控制線路保險絲裝置//超溫防止保護裝置//電熱過電流保護裝//馬達過電流保護//機臺異常蜂鳴器警示//逆向防止器//門面安全開關