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主要技術(shù)參數(shù)●波長(zhǎng)范圍：185nm-3300nm●橢偏類(lèi)型：采用PEM相位調(diào)制●測(cè)量范圍：Psi=0°-90°，Delta=0°-360°無(wú)死區(qū)●入射角：55°-90°

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主要技術(shù)參數(shù)
● 波長(zhǎng)范圍：185nm-3300nm
● 橢偏類(lèi)型：采用PEM相位調(diào)制
● 測(cè)量范圍：Psi= 0°-90°，Delta= 0°-360°無(wú)死區(qū)
● 入射角： 55°-90°；入射角控制精度：5°
● 樣品臺(tái)尺寸：可放置直徑150mm、厚度≥20mm的樣品
 
功能特點(diǎn)
● 配置了3個(gè)檢測(cè)器，在1500 nm波長(zhǎng)檢測(cè)時(shí)噪聲小于0.00003 Abs，達(dá)到低的噪聲水平。
● 采用高性能雙單色器，實(shí)現(xiàn)高分辨率（分辨率0.1nm）和超低雜散光（340nm處雜散光0.00005%以下）。
 
 


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