高壓發(fā)生器

輸入電壓

24VDC±10%

輸出電壓

0-50kV

輸出電流

0-2.0mA

輸出精度

0.01%

備注

有自動軟件偵測功能

X射線管

X射線管靶材

W靶、Rh、Mo、Ag、Cr靶材可選

X射線管窗口

Be窗

電氣參數(shù)

50W、4-50kV，0-1000uA

冷確方式

硅脂冷卻

使用壽命

15000-20000h

探測器

檢測范圍

K¹⁹-U⁹²

分辨率

FWHM<760eV

探測窗口

鈹窗，窗口面積：400mm²

鍍層測厚指標(biāo)

分析范圍

0.01um—40um

層精密度/準(zhǔn)確度

相對標(biāo)準(zhǔn)差5%以下（厚度大于0.5um時）

第二層精密度/準(zhǔn)確度

相對標(biāo)準(zhǔn)差10%以下（厚度大于0.5um時）

測試深度

400mm

譜處理系統(tǒng)

處理器類型

全數(shù)字化32-bit3 DSP

譜通道數(shù)

256，512，1024，2048可供選擇

計數(shù)率

大于100000cps

能量范圍

1400eV-40960eV

死時間

<3%

光路系統(tǒng)和樣品觀測

準(zhǔn)直器系統(tǒng)

Φ1mm、φ2mm、φ0.5mm可切換

對焦系統(tǒng)

激光激光對焦

濾光器

多種濾光器(Ni、Cu、Mo、Al、Ti)可供選擇

樣品觀察系統(tǒng)

300萬象素高清CCD攝像頭，20倍光學(xué)變焦。

樣品室

樣品室內(nèi)部空間（mm）

（寬×高×深）：450×160×400mm

樣品臺尺寸

（寬×深）：250×275mm

樣品臺承載重量

≤5kg

試驗樣品尺寸

寬×高×深：440×150×390mm。

樣品臺控制方式

簡易手動樣品臺

工作臺移動技術(shù)數(shù)據(jù)

X=200±5、Y=200±5、Z=160±5mm

工作臺移動精度

0.02mm

計算機(jī)和軟件

控制計算機(jī)

聯(lián)想品牌機(jī)T4900V，512MB內(nèi)存，80G硬盤

顯示器

聯(lián)想17寸LCD顯示器

操作系統(tǒng)

WindowsXP、OEM簡體中文版

報告結(jié)果

Word、Excel格式

軟件

鍍層測厚軟件、元素分析軟件

軟件類型

FP基本參數(shù)法軟件

軟件語言

簡體中文、繁體中文、英文、其它

譜顯示

自動峰定性，KLM標(biāo)記，譜重迭比較

譜處理

總強(qiáng)度，凈強(qiáng)度，背景強(qiáng)度；全面積，凈面積，多元素擬合，高斯擬合；倒數(shù)譜

資料分析

基本參數(shù)，基本譜圖，無標(biāo)樣測試，峰位修正，底材修正

重量和尺寸

設(shè)備主體尺寸（mm）

寬×高×深：W 580×H 600×D 715mm

主體重量

約60kg

使用環(huán)境

工作環(huán)境

溫度15-25⁰C，濕度40-70%RH

電源系統(tǒng)

單相220V±10%，工作電壓在充許范圍內(nèi)

其它

1.      不要靠近產(chǎn)生強(qiáng)磁場，電場，高頻等裝置

2.      減少振動

3.      粉塵少，濕度低，無腐蝕性氣體

4.      日光不能直射

5.      作為地震的對策，要考慮裝置的固定