設(shè)備的主要功能
可測量各種精密機(jī)械零件的素線輪廓形狀參數(shù)，角度處理（坐標(biāo)角度，與Z坐標(biāo)的夾角，兩直線夾角）、圓處理（圓弧半徑，圓心到圓心距離，圓心到直線距離，交點到圓心的距離，直線到切點的距離）、點線處理（兩直線交點，交點到直線距離，交點與交點距離，交點到圓心的距離）、直線度、凸度、對數(shù)曲線、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、輪廓度、傾斜度、垂直距離、水平距離等形狀參數(shù)。
儀器測量原理
由高精密氣浮直線運動導(dǎo)軌,建立X坐標(biāo)的高精密測量基準(zhǔn),Z坐標(biāo)由電感傳感器構(gòu)成,可以測量各種精密機(jī)械零件的素線形狀.本儀器由于基準(zhǔn)直線運動采用精密氣浮導(dǎo)軌,故移動精度高、穩(wěn)定性好、壽命長,而且運動靈活性好、直線性好、操作方便.運動距離采用進(jìn)口光柵尺計量,X軸的尺寸坐標(biāo)精確,數(shù)據(jù)采集及數(shù)據(jù)處理均采用計算機(jī),故測試精度高、功能多,又可方便打印和存檔,為用戶帶來很大的方便。
設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)
X軸導(dǎo)軌移動直線度：≤0.3μm/60mm
示值誤差1（L=X軸導(dǎo)軌移動距離）：±（1.5+1.5L/100）μm
示值誤差2（H=Z軸方向測量高度）：±（1.2+13H/100）μm
可測范圍：X軸方向100mm；
Z軸方向（工件較大高度）300mm
傳感器量程：10mm(可增加到20mm)
分辨率/量程：1/65536
進(jìn)口英國RENISHAW公司光柵尺：精度±2μm/100mm；分辨率1μm
數(shù)據(jù)采樣：精密直光柵觸發(fā)采樣1μm/點
綜合調(diào)整臺調(diào)整范圍：Y軸方向10mm，X軸水平可調(diào)±25度，Z軸回軸可調(diào)360度
工作壓力：0.35～0.43Mpa
氣源壓力：0.45～0.80Mpa
氣源流量：≥0.2 m3/min
電源：AC 220V±10% 50Hz
環(huán)境要求：溫度：10～30℃；相對濕度：＜85%
主機(jī)重量：約200Kg
主機(jī)尺寸：900mm×490mm×1400mm
