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型號(hào) VMU222 VMU322 VMU432
行程(mm)* 200×200×200 300×200×200 400×300×200
外型尺寸(mm) 1040×740×1620 1040×740×1620 1240×800×1620
重量(kg) 240 250 310
承重(kg) 25 25 25
測(cè)量精度 XY軸** E2=(1.5+L/300)μm E2=(1.9+L/300)μm
Z軸*** E1=(5.0+L/200)μm
速度 XY軸 500mm/S
Z軸 100mm/S
光柵尺 0.1μm Renishaw光柵尺
導(dǎo)軌 THK
圖像傳感器 高清晰彩色專用工業(yè)攝像機(jī)
光源 輪廓光 LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)
可升降表面光 3內(nèi)環(huán)3外環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段獨(dú)立操作，256級(jí)亮度可調(diào)，外3環(huán)可程控升降，提供45°到75°多種落射角度照明
同軸光 LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)
光學(xué)鏡頭 12.5:1連續(xù)變倍
放大倍率**** 光學(xué)放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：18～230×
軟件 Vispec測(cè)量軟件（VMU版）
運(yùn)動(dòng)控制 自主的CNC直流伺服系統(tǒng)
保修期 1年
工作環(huán)境 溫度20℃±2℃，濕度30～80%
振動(dòng)<0.002g，低于15Hz
電源

200~240Vac ，50/60Hz，單相，700W

* Z軸標(biāo)配有效測(cè)量行程135mm，可加高至300mm。

** L表示測(cè)量長(zhǎng)度，以毫米為單位。

*** Z軸的機(jī)械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關(guān)系。

**** 放大倍率為近似值，具體指與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關(guān)；客戶可根據(jù)需求選配0.5×或2×附加鏡，實(shí)現(xiàn)影像放大倍率9～115×或36～460×。

◆ 超精密全自動(dòng)測(cè)量，四軸CNC控制；

◆ 精密花崗巖機(jī)臺(tái)，精度高、穩(wěn)定性好；

◆ 三軸THK精密直線導(dǎo)軌、精密傳動(dòng)系統(tǒng)；

◆ Renishaw開放式光柵尺，精度高、穩(wěn)定性好；

◆ TZTEK自動(dòng)變倍光學(xué)鏡頭，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變倍測(cè)量；

◆ 程控式6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；

◆ 自動(dòng)對(duì)焦測(cè)高，可加裝接觸式測(cè)頭；

◆ 提供多種行程規(guī)格配置，如222、322、432等。

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