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型號(hào) VME222 VME322 VME432
行程(mm)* 200×200×200 300×200×200 400×300×200
外型尺寸(mm) 1040×740×1620 1040×740×1620 1240×800×1620
重量(kg) 240 250 310
承重(kg) 25 25 25
測(cè)量精度 XY軸** E2=(2.6+L/200)μm E2=(3.0+L/200)μm
Z軸*** E1=(5.0+L/200)μm
速度 XY軸 500mm/S
Z軸 100mm/S
光柵尺 1.0μm分辨率
導(dǎo)軌 Hiwin
圖像傳感器 高清晰彩色工業(yè)攝像機(jī)
光源**** 輪廓光 LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)
表面光 6環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段獨(dú)立操控，256級(jí)亮度可調(diào)
光學(xué)鏡頭 TZTEK電子卡位鏡頭，6.5:1連續(xù)變倍
放大倍率***** 光學(xué)放大倍率：0.7～4.5×；影像放大倍率：28～184×
軟件 Vispec測(cè)量軟件（VME版）
運(yùn)動(dòng)控制 自主的CNC直流伺服系統(tǒng)
保修期 1年
工作環(huán)境 溫度20℃±2℃，濕度30～80%
振動(dòng)<0.002g，低于15Hz
電源

200~240Vac ，50/60Hz，單相，700W

* Z軸標(biāo)配有效測(cè)量行程135mm，可加高至300mm。

** L表示測(cè)量長(zhǎng)度，以毫米為單位。

*** Z軸的機(jī)械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關(guān)系。

**** 同軸光可選配，技術(shù)參數(shù)同輪廓光。

***** 放大倍率為近似值，具體指與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關(guān)；客戶(hù)可根據(jù)需求選配0.5×或2×附加鏡，實(shí)現(xiàn)影像放大倍率14～92×或56～368×。

◆ 實(shí)現(xiàn)XYZ三軸CNC全自動(dòng)測(cè)量；

◆ 三軸CNC控制系統(tǒng)，穩(wěn)定安全地控制平臺(tái)移動(dòng)；

◆ 6環(huán)8區(qū)可控光源系統(tǒng)，智能實(shí)現(xiàn)256級(jí)亮度調(diào)節(jié)；

◆ 進(jìn)口工業(yè)數(shù)字彩色相機(jī)，滿(mǎn)足清晰觀察和穩(wěn)定測(cè)量的需求；

◆ 配備業(yè)內(nèi)的影像測(cè)量軟件Vispec,測(cè)量功能全備；

◆ 可設(shè)置自動(dòng)測(cè)量任務(wù)，高效快速完成批量測(cè)量；

◆ 業(yè)內(nèi)的電子卡位鏡頭，輕松實(shí)現(xiàn)倍率切換，無(wú)需重新標(biāo)定；

◆ 可根據(jù)用戶(hù)需求，加裝激光、探針等各種附件；

◆ 多樣化的輸出報(bào)告、SPC數(shù)據(jù)分析。



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