高精度諧振式壓力傳感器 RPS/DPS 8000利用新RPS/DPS 8000傳感器提高壓力測(cè)量精度這種新RPS/DPS 8000諧振式硅壓力傳感器是**款融合了GE TERPS技術(shù)平臺(tái)的壓力傳感器。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，TERPS（溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器）可提供更高的性能等級(jí)，是具有*高的精度和穩(wěn)定性的傳感器。這種傳感器還可大幅提高諧振壓力技術(shù)（RPT）傳感器通常具有的壓力范圍

高精度諧振式壓力傳感器 RPS/DPS 8000

利用新RPS/DPS 8000傳感器提高壓力測(cè)量精度

這種新RPS/DPS 8000諧振式硅壓力傳感器是**款融合了GE TERPS技術(shù)平臺(tái)的壓力傳感器。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，TERPS（溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器）可提供更高的性能等級(jí)，是具有*高的精度和穩(wěn)定性的傳感器。這種傳感器還可大幅提高諧振壓力技術(shù)（RPT）傳感器通常具有的壓力范圍，并且具有極為堅(jiān)固的包裝，適用于惡劣的環(huán)境。

此外， RPS/DPS 8000產(chǎn)品線提供了各種壓力和電氣接頭，這樣就可以靈活地進(jìn)行定制，廣泛用于從航空航天到海底工程以及過程工程到工業(yè)儀器等領(lǐng)域。

利用全新的TERPS技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)

? 高精度，±0.01% FS（在補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)）

?高度穩(wěn)定，±100 ppm FS/年

? 壓力范圍從2 bar（30 psi）至 70 bar（1000 psi），優(yōu)良?jí)毫?

?溫度范圍大， -40 °C 至+85 °C（-40 °F至185 °F）

? 采用介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu)，適用于惡劣環(huán)境

? 多輸出配置，TTL和二極管，RS-232和RS-485

當(dāng)開發(fā)這種新的TERPS技術(shù)時(shí)，我們主要是為了提供一種具有*高精度和穩(wěn)定性的傳感器，可以用于較大的壓力和溫度范圍；并且具有堅(jiān)固、可靠的包裝，可用于惡劣環(huán)境。

*高的精度和穩(wěn)定性

用硅改善性能：

利用DRiE工藝進(jìn)行硅加工的示例

DRiE工藝水

• 我們?cè)谥圃霻ERPS諧振器元件時(shí)充分利用了硅的力學(xué)性能。
• 為了優(yōu)化和平衡諧振器的設(shè)計(jì)，我們采用了深度反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）硅技工技術(shù)。 DRIE可以設(shè)計(jì)具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)。
• 精度為0.01% FS（100 ppm）
• 穩(wěn)定性為0.01% FS/年（100 ppm）

壓力和溫度范圍大

硅熔融黏結(jié)工藝：

• TERPS僅根據(jù)硅的力學(xué)性能進(jìn)行設(shè)計(jì)，可以用于 -40 至to 85 °C（-40至185 °F）的溫度范圍。
• 這種設(shè)計(jì)還可以通過硅熔融黏結(jié)（SFB）工藝在諧振器上黏結(jié)不同厚度的硅，以便于用于高達(dá)70 bar（1000 psi）的壓力范圍。

TERPS 傳感器元件橫截面	SFB硅層橫截面

堅(jiān)固和可靠的包裝

深度反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）可以設(shè)計(jì)具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)，并且可以使諧振器位于水平面上。 諧振器必須具有足夠的剛度，以將能量損失降至*低，并采用油浸絕緣結(jié)構(gòu)。

全焊TERPS模塊可以使上等設(shè)計(jì)工程師利用標(biāo)準(zhǔn)材料包裝傳感器。 這種產(chǎn)品封裝在316L不銹鋼模塊中，起調(diào)節(jié)作用的電子設(shè)備位于25mm的主體管中。它提供一系列壓力和電氣接頭。

特色

?壓力和電氣接頭選擇范圍大，可滿足具體的要求

應(yīng)用

石油天然氣

現(xiàn)在對(duì)清潔、安全和有效采油的要求與日俱增，所以在上游和中游的勘探、鉆井、采油和運(yùn)輸階段就需要按照很高的精度水平進(jìn)行測(cè)量。RPS/DPS 8000壓力傳感器就應(yīng)運(yùn)而生了。

應(yīng)用包括：

• 井口監(jiān)測(cè)
• 輸油監(jiān)測(cè)

航空航天

為了滿足對(duì)**和商用飛機(jī)性能與日俱增的要求，系統(tǒng)需要更為高效地工作，也需要更為精準(zhǔn)的測(cè)量和控制。

應(yīng)用包括：

• 空氣數(shù)據(jù)試驗(yàn)系統(tǒng)
• 環(huán)境控制系統(tǒng)
• 液壓控制系統(tǒng)
• 飛行試驗(yàn)
• 地面試驗(yàn)
• 航空電子設(shè)備的地面支持設(shè)施

環(huán)境研究

隨著人們對(duì)氣候變化的關(guān)注度日益上升，以及對(duì)了解其潛在影響的需要，這都使科學(xué)界更專注于獲得*為精準(zhǔn)和可靠的數(shù)據(jù)，以提供*佳的結(jié)果和結(jié)論。

應(yīng)用包括：

海洋學(xué)

• 波浪和潮汐測(cè)量?jī)x器
• 錨固和漂移的數(shù)據(jù)浮標(biāo)
• 海嘯預(yù)警系統(tǒng)
• 海底測(cè)繪
• 遙控車輛（ROV）
• 水下自控車輛（AUV）

氣象

• 遠(yuǎn)程天氣監(jiān)測(cè)站
• 水面數(shù)據(jù)浮標(biāo)
• GPS技術(shù)

水文

• 大壩和水庫液位感測(cè)
• 河流測(cè)量
• 靜水槽測(cè)量
• 壓力計(jì)更換

發(fā)電

世界能耗需求增長(zhǎng)非?？欤@種速度超出了供應(yīng)能力。 RPS/DPS 8000壓力傳感器設(shè)計(jì)用于各種應(yīng)用，提高了燃油控制效率和燃?xì)鉁u輪機(jī)流量的關(guān)鍵監(jiān)測(cè)效率。 這種傳感器還有可能用于核能、風(fēng)能和地?zé)崮艿葢?yīng)用場(chǎng)合。

工業(yè)

改進(jìn)試驗(yàn)和提高效率的需求促使這一廣闊的細(xì)分市場(chǎng)中的各種應(yīng)用不斷發(fā)展。汽車試驗(yàn)、試驗(yàn)臺(tái)、測(cè)漏系統(tǒng)和工業(yè)研發(fā)都圍繞改善結(jié)果和性能這個(gè)主題，這需要具有較高的測(cè)量精度。

計(jì)量

對(duì)測(cè)量設(shè)備性能進(jìn)行校準(zhǔn)和驗(yàn)證的能力一直是確保獲得*佳結(jié)果的完整部分。隨著測(cè)量設(shè)備性能的提高，校準(zhǔn)和驗(yàn)證設(shè)備也必須隨之提高。 RPS/DPS 8000可以作為實(shí)驗(yàn)室和便攜式校準(zhǔn)儀器的內(nèi)部或外部參考標(biāo)準(zhǔn)。