高精度諧振式壓力傳感器 RPS/DPS 8000利用新RPS/DPS 8000傳感器提高壓力測量精度這種新RPS/DPS 8000諧振式硅壓力傳感器是**款融合了GE TERPS技術平臺的壓力傳感器。 與現(xiàn)有技術相比，TERPS（溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器）可提供更高的性能等級，是具有*高的精度和穩(wěn)定性的傳感器。這種傳感器還可大幅提高諧振壓力技術（RPT）傳感器通常具有的壓力范圍

高精度諧振式壓力傳感器 RPS/DPS 8000

利用新RPS/DPS 8000傳感器提高壓力測量精度

這種新RPS/DPS 8000諧振式硅壓力傳感器是**款融合了GE TERPS技術平臺的壓力傳感器。 與現(xiàn)有技術相比，TERPS（溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器）可提供更高的性能等級，是具有*高的精度和穩(wěn)定性的傳感器。這種傳感器還可大幅提高諧振壓力技術（RPT）傳感器通常具有的壓力范圍，并且具有極為堅固的包裝，適用于惡劣的環(huán)境。

此外， RPS/DPS 8000產(chǎn)品線提供了各種壓力和電氣接頭，這樣就可以靈活地進行定制，廣泛用于從航空航天到海底工程以及過程工程到工業(yè)儀器等領域。

利用全新的TERPS技術進行設計

? 高精度，±0.01% FS（在補償溫度范圍內(nèi)）

?高度穩(wěn)定，±100 ppm FS/年

? 壓力范圍從2 bar（30 psi）至 70 bar（1000 psi），優(yōu)良壓力

?溫度范圍大， -40 °C 至+85 °C（-40 °F至185 °F）

? 采用介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu)，適用于惡劣環(huán)境

? 多輸出配置，TTL和二極管，RS-232和RS-485

當開發(fā)這種新的TERPS技術時，我們主要是為了提供一種具有*高精度和穩(wěn)定性的傳感器，可以用于較大的壓力和溫度范圍；并且具有堅固、可靠的包裝，可用于惡劣環(huán)境。

*高的精度和穩(wěn)定性

用硅改善性能：

利用DRiE工藝進行硅加工的示例

DRiE工藝水

• 我們在制造TERPS諧振器元件時充分利用了硅的力學性能。
• 為了優(yōu)化和平衡諧振器的設計，我們采用了深度反應離子刻蝕（DRIE）硅技工技術。 DRIE可以設計具有復雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)。
• 精度為0.01% FS（100 ppm）
• 穩(wěn)定性為0.01% FS/年（100 ppm）

壓力和溫度范圍大

硅熔融黏結(jié)工藝：

• TERPS僅根據(jù)硅的力學性能進行設計，可以用于 -40 至to 85 °C（-40至185 °F）的溫度范圍。
• 這種設計還可以通過硅熔融黏結(jié)（SFB）工藝在諧振器上黏結(jié)不同厚度的硅，以便于用于高達70 bar（1000 psi）的壓力范圍。

TERPS 傳感器元件橫截面	SFB硅層橫截面

堅固和可靠的包裝

深度反應離子刻蝕（DRIE）可以設計具有復雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)，并且可以使諧振器位于水平面上。 諧振器必須具有足夠的剛度，以將能量損失降至*低，并采用油浸絕緣結(jié)構(gòu)。

全焊TERPS模塊可以使上等設計工程師利用標準材料包裝傳感器。 這種產(chǎn)品封裝在316L不銹鋼模塊中，起調(diào)節(jié)作用的電子設備位于25mm的主體管中。它提供一系列壓力和電氣接頭。

特色

?壓力和電氣接頭選擇范圍大，可滿足具體的要求

應用

石油天然氣

現(xiàn)在對清潔、安全和有效采油的要求與日俱增，所以在上游和中游的勘探、鉆井、采油和運輸階段就需要按照很高的精度水平進行測量。RPS/DPS 8000壓力傳感器就應運而生了。

應用包括：

• 井口監(jiān)測
• 輸油監(jiān)測

航空航天

為了滿足對**和商用飛機性能與日俱增的要求，系統(tǒng)需要更為高效地工作，也需要更為精準的測量和控制。

應用包括：

• 空氣數(shù)據(jù)試驗系統(tǒng)
• 環(huán)境控制系統(tǒng)
• 液壓控制系統(tǒng)
• 飛行試驗
• 地面試驗
• 航空電子設備的地面支持設施

環(huán)境研究

隨著人們對氣候變化的關注度日益上升，以及對了解其潛在影響的需要，這都使科學界更專注于獲得*為精準和可靠的數(shù)據(jù)，以提供*佳的結(jié)果和結(jié)論。

應用包括：

海洋學

• 波浪和潮汐測量儀器
• 錨固和漂移的數(shù)據(jù)浮標
• 海嘯預警系統(tǒng)
• 海底測繪
• 遙控車輛（ROV）
• 水下自控車輛（AUV）

氣象

• 遠程天氣監(jiān)測站
• 水面數(shù)據(jù)浮標
• GPS技術

水文

• 大壩和水庫液位感測
• 河流測量
• 靜水槽測量
• 壓力計更換

發(fā)電

世界能耗需求增長非?？欤@種速度超出了供應能力。 RPS/DPS 8000壓力傳感器設計用于各種應用，提高了燃油控制效率和燃氣渦輪機流量的關鍵監(jiān)測效率。 這種傳感器還有可能用于核能、風能和地熱能等應用場合。

工業(yè)

改進試驗和提高效率的需求促使這一廣闊的細分市場中的各種應用不斷發(fā)展。汽車試驗、試驗臺、測漏系統(tǒng)和工業(yè)研發(fā)都圍繞改善結(jié)果和性能這個主題，這需要具有較高的測量精度。

計量

對測量設備性能進行校準和驗證的能力一直是確保獲得*佳結(jié)果的完整部分。隨著測量設備性能的提高，校準和驗證設備也必須隨之提高。 RPS/DPS 8000可以作為實驗室和便攜式校準儀器的內(nèi)部或外部參考標準。