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測(cè)量項(xiàng)目
測(cè)量項(xiàng)目 點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理(圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離等)、點(diǎn)、點(diǎn)、距離、角度處理(坐標(biāo)夾角、直線夾角)、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度(對(duì)數(shù)曲線)、輪廓度等參數(shù)
測(cè)量范圍
X軸(橫導(dǎo)軌) 100mm
Z1軸(傳感器) 40mm
Z軸(立柱) 400mm
測(cè)量精度
X軸
(L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離)
±(1.2+L/300)μm
Z1軸
(H=Z1軸方向測(cè)量高度)
±(1.2+2H/100)μm
X軸水平臂
直線度 1μm/100mm
光柵分辨率 0.1μm
光柵產(chǎn)地 進(jìn)口
Z1軸傳感器
分辨率 0.05μm
傳感器類型 光柵傳感器
產(chǎn)地 進(jìn)口
移動(dòng)方向 前/后 雙方向
測(cè)力 0.5-6g
測(cè)針針尖 硬質(zhì)合金 R:0.05mm、0.01mm
爬坡角度 上升77度 下降88度
速度
測(cè)量速度 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s(自定義)
定位速度 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s(自定義)
圖形放大/縮小
圖形放大 可任意縮小、放大
綜合調(diào)整臺(tái)
綜合調(diào)整臺(tái) X軸水平傾斜調(diào)整范圍:±30°
Y軸方向調(diào)整范圍:±7.5mm
Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度(帶微調(diào)裝置)
安裝要求
電源 220-240V  AC, 50HZ,單獨(dú)地線;功率消耗450W
壓縮空氣 純凈壓縮空氣:氣壓0.4MP,消耗0.1m3 /min (氣源供給0.6MP,0.25m3 /min以上)
環(huán)境要求 工作溫度:10°-30°(常溫);濕度20-80%RH(無結(jié)露),良好地線,無明顯振源


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