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評定參數(shù)
評定參數(shù) Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2
測量范圍
Z軸 800μm
X軸 50mm
直線度精度
直線度精度 0.4μm
分辨率（Z軸）
分辨率（Z軸） 0.001μm
采樣數(shù)/分解能
采樣數(shù)/分解能 9600點/16bit
濾波器
濾波器 高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），2RC濾波器
取樣長度
取樣長度 λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）
截止波長
截止波長 0.25,0.8,2.5
測量速度
測量速度 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s
返回速度
返回速度 （自動） 1mm/s
示值誤差
示值誤差 ±5%
示值穩(wěn)定性
示值穩(wěn)定性 3%
測量重復(fù)性
測量重復(fù)性 3%
圖形放大倍率
圖形放大倍率 10-500000自動調(diào)整
傳感器
傳感器 針尖 R=2μm鉆石（測量力1mN）
R=5μm鉆石(測量力4mN）
 


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