微聚焦加強(qiáng)型X射線裝置：可測試各類極微小的樣品，即使檢測面積為0.002mm2的樣品也可輕松、精準(zhǔn)檢測

變焦裝置及位置補(bǔ)償算法：可對各種異性凹槽進(jìn)行檢測，凹槽深度測量范圍可達(dá)0-30mm

自主研發(fā)EFP算法：多層多元素、各種元素及有機(jī)物，甚至有同種元素在不同層也可精準(zhǔn)測量

微米級移動精度：高精密XY移動滑軌，實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)位、多樣品的精準(zhǔn)位移和同時檢測，移動精度可達(dá)5um，輕松應(yīng)對極微小樣品檢測

的解譜技術(shù)：減少能量相近元素的干擾，降低檢出限