一、產(chǎn)品名稱、規(guī)格型號、數(shù)量

1.1 產(chǎn)品名稱：超聲掃描顯微鏡

1.2 規(guī)格型號：Hiwave S200

1.3 數(shù)量：1臺

（（產(chǎn)品不斷改進，以實物為準）

二、工作環(huán)境要求

2.1   環(huán)境溫度要求：20～35℃

2.2   環(huán)境相對濕度：35℃≤50％RH

2.3   工作電源：220V±10%/50Hz，3KW

2.4   水源：自來水，或去離子水,水溫要求：15～30℃

2.5   周邊環(huán)境：

不要放在強磁場、電磁波和產(chǎn)生高頻設備的旁邊。

減少振動。

灰塵少、濕氣少，沒有腐蝕性氣體的地方。

電源的變化，限制到最小。

為了防止地震的損壞，四周一定要固定。

三、技術指標

3.1 系統(tǒng)特性

整機尺寸：1.8m×1.3m×1.55m

掃描范圍：900mm×600mm×250mm；

典型掃描耗時：小于40s（測試條件：掃描區(qū)域10mm×10mm，分辨率50um）；

掃描速度：500mm/s；

圖像推薦分辨率：1～4000um；

厚度檢測范圍（根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配）

Ag材料：                              Cu材料：

0.3 ~ 1.5mm（25MHz探頭）；             0.5 ~ 1.4mm（25MHz探頭）；

1.0 ~ 4.0mm（15MHz探頭）；             1.2 ~ 3.7mm（15MHz探頭）；

定位精度：X/Y≤±1μm，Z≤±10μm；

重復定位精度：X/Y≤±0.02mm，Z≤±0.02mm

3.2 軟件功能

3.2.1 常規(guī)軟件功能

一鍵校準、手動掃描（A/B/C掃描模式）、批量掃描、導出報告、探頭切換、強度檢測、相位檢測、厚度檢測、斷層檢測。