認(rèn)識(shí)Sensofar
西班牙SENSOFAR公司專業(yè)從事研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造光學(xué)表面量測(cè)設(shè)備。從1999年成立至今裝機(jī)超過900臺(tái)。SENSOFAR開創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合在一起，設(shè)計(jì)和制造了NEOX系列的3D光學(xué)輪廓儀，它是獲得歐洲設(shè)計(jì)金獎(jiǎng)的產(chǎn)品。
其中最S ONIX具有以下一些特點(diǎn)：
一、 S onix是一套高速工業(yè)檢測(cè)系統(tǒng)，可以完成大批量產(chǎn)品的快速檢測(cè)。高速攝像頭、的光學(xué)和機(jī)械設(shè)計(jì)讓它比現(xiàn)有干涉系統(tǒng)的測(cè)量速度提高了7倍。另外增加改進(jìn)后的防震阻力設(shè)計(jì)讓設(shè)備在垂直分辨率方面有著更優(yōu)異。
二、 S Onix擁有小巧的體積（150mm * 82mm * 281mm），輕巧的質(zhì)量（3.6kg），卻擁有2nm的高縱向分辨率，225μm/s的超高縱向掃描速度，僅僅需要普通相機(jī)拍攝一張照片的時(shí)間就可以將表面三維形貌抓取出來，并進(jìn)行粗糙度和高度的量測(cè)，同時(shí)配備綠光和白光雙LED，兩種算法可分別實(shí)現(xiàn)速度優(yōu)先和分辨率優(yōu)先，根據(jù)樣品需求，提供測(cè)量方案。
三、 智能編程，自動(dòng)走位測(cè)量
高速掃描頭配置有150mm*150mm或300mm*300mm電動(dòng)掃描平臺(tái)時(shí)，軟件配置的智能編程功能，用戶可以很簡單的實(shí)現(xiàn)定位精確測(cè)量或大批重復(fù)測(cè)量。軟件還可設(shè)置使用權(quán)限。
四、 自動(dòng)形貌拼接、圖像預(yù)覽導(dǎo)航等豐富功能幫助客戶一臺(tái)設(shè)備完成多種應(yīng)用需求。
五、 定制軟件
SensoPro作為一款定制軟件，針對(duì)工廠設(shè)計(jì)，既可以避免人為測(cè)量誤差，又可以批量高速測(cè)量。
使用SensoPro軟件可以在預(yù)先設(shè)置好要測(cè)量和輸出的數(shù)據(jù)的前提下，可以在掃描好樣品表面形貌的同時(shí)，測(cè)量出全部待測(cè)樣品的數(shù)據(jù)。不但可以排除人為測(cè)量誤差，還具備人為測(cè)量不具備的高效率。
二、設(shè)備主要用途
Sensofar 表面輪廓儀S Onix可以通過白光干涉技術(shù)對(duì)表面進(jìn)行3D合成，除表面極粗糙和極光滑的表面適用于大部分粗糙度表面樣品的三維量測(cè)。
廣泛應(yīng)用于能源、LCD、微電子、精密加工、光學(xué)器件、半導(dǎo)體元件、鐘表、汽車、電子消費(fèi)品等領(lǐng)域。
三、技術(shù)指標(biāo)
設(shè)備名稱：表面3D輪廓儀
規(guī)格型號(hào):S Onix
一、硬件部分
1.1 光源及壽命
長壽命高亮度2色LED（綠 560nm，白550nm) 50000小時(shí)以上
1.2 相機(jī)及成像
680*480pixel高速相機(jī)
1.3 XY分辨率
0.25µm（100倍干涉物鏡）
1.4 掃描模式
干涉物鏡：白光干涉（CSI）
膜厚測(cè)量模式：可以測(cè)量大于1.5μm透明膜厚度
1.5 物鏡轉(zhuǎn)換器及物鏡
1.5.1 單物鏡或選配六孔物鏡轉(zhuǎn)換器
1.5.2 物鏡參數(shù)
鏡頭種類 | 倍率 | 數(shù)值孔徑（N.A） | 視窗大?。?/span>µm） | 工作距離（mm） | 橫向分辨率（µm） | Z向分辨率（nm） | 支持斜率 |
干涉物鏡 | 2.5X | 0.075 | 5040x3780 | 10.3 | 7.88 | 2 | 3 |
| 5X | 0.13 | 2520x1890 | 9.3 | 3.94 | 2 | 8 |
| 10X | 0.30 | 1160x945 | 7.4 | 1.97 | 2 | 14 |
1.6 視野范圍
126-5040µm（根據(jù)物鏡）
1.7 樣品側(cè)面觀察能力
42度
1.8 電動(dòng)載物臺(tái)
可傾斜，行程不小于150 mm **150mm，或者300 mm *300 mm
1.9內(nèi)置專業(yè)避震裝置
有
1.10 支持樣品高度
40mm（可根據(jù)樣品更換80mm）
1.11 放大倍數(shù)
100-20000
1.12 Z軸精度及線性度
高精度Z軸掃描模塊，行程40mm
1.13防震機(jī)制
大臺(tái)面高級(jí)防震桌
二、軟件部分
2.1粗糙度測(cè)量部分
2.1.1 同時(shí)具備線粗糙度和面粗糙度測(cè)量的能力
2.1.2 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)
ISO25178 國際標(biāo)準(zhǔn)
2.2 觀察輔助
干涉圖像
2.3 拼圖功能
有，拼接范圍為電動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)行程
2.4 具備免費(fèi)離線軟件與共享功能
2.5 自動(dòng)操作記憶功能
可存儲(chǔ)測(cè)量參數(shù)，自動(dòng)編程實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)測(cè)量。如選配批量分析軟件，可自動(dòng)分析結(jié)果給出報(bào)告
2.6 工作站
新型工作站配置WINDOWS10 64位專業(yè)版操作系統(tǒng)，2560 x 1440分辨顯示器
2.7 操作軟件支持的語言
中文、英文
2.8 窗口設(shè)計(jì)
按鍵式，可保存及調(diào)用參數(shù)
2.9 支持的掃描模式
白光干涉、膜厚模式等
三、測(cè)量性能與追溯性
3.1 XY分辨力
分辨能力不低于0.24微米
3.2 測(cè)量顯示分辨率
0.01nm
3.3 Z軸測(cè)量分辨率
CSI模式下2nm
3.4 Z軸測(cè)量準(zhǔn)確度
臺(tái)階高度精度0.5%
3.5 Z軸測(cè)量重復(fù)性
臺(tái)階高度重復(fù)性0.1%
