尼康晶圓NWL200系列

復(fù)雜、可靠的裝載機(jī)處理各種晶圓

與NEXIV影像測量儀集成

NWL200系列與尼康NEXIV影像測量儀器集成在一起，可在半導(dǎo)體生產(chǎn)和檢測過程中快速提供全精度和準(zhǔn)確度。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

半導(dǎo)體生產(chǎn)中的高可靠性

例如，當(dāng)電源意外中斷時(shí)，宏支臂的真空卡盤保持激活狀態(tài)，允許安全取出晶圓。

宏觀檢查功能

支持半導(dǎo)體晶圓前圖案側(cè)、后周邊和中心區(qū)域檢測?？勺詣?dòng)或手動(dòng)設(shè)置晶圓旋轉(zhuǎn)速度和傾斜角度。

專為產(chǎn)量而設(shè)計(jì)

帶有非接觸式定心機(jī)構(gòu)的快速晶圓盒升降器可使用多支臂系統(tǒng)精確快速對齊晶圓，以精度裝載和卸載晶圓。

人體工程學(xué)設(shè)計(jì)理念

NWL200符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，易于操作和控制。
向左轉(zhuǎn)35度時(shí)，輕松進(jìn)行晶圓入槽定位和全盒交換。

核心功能