高低溫探針臺特點

● 產(chǎn)品功能：高低溫探針臺為小尺寸樣品測量電特性，提供高精度可控的測量環(huán)境；

● 使用范圍：幫助精準(zhǔn)測量和分析判斷晶圓器件的性能。

● 應(yīng)用領(lǐng)域：提供材料/器件的IV/CV特性測試，LD/LED/PD的光強/波長測試，射頻特性器件失效分析，芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試等技術(shù)解決方案；

● 定制服務(wù)：定制樣品臺和測量方式；

● 自動控溫：PID自整定連續(xù)多點控溫。

真空探針臺技術(shù)參數(shù)：

● 外形尺寸：長650mm*寬650mm*高1300mm；

● 溫度范圍：-196~400℃（環(huán)境溫度）；

● 制冷加熱方式：液氮制冷，電阻加熱；

● 樣品臺尺寸：≤φ100mm；

● 有效高度：40mm；

● 真空度：機械泵≤10Pa，分子泵≤5.0 e-3Pa；

● 氣路：1-2路；

● 溫度傳感器：PT100；

● 控溫方式：PID線型調(diào)節(jié)；

● 控溫精度：±0.1℃；

● 升溫速率：80℃/min（RT到100℃）；

● 降溫速率：50℃/min（RT到-100℃）；

● XYZ軸行程：50mm*50mm*10mm；

● 探針結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)；

● 移動精度：0.01mm；

● 線纜：同軸線/射頻線；

● 探針類型：鎢探針（類型可選）；

● 接頭類型：BNC/鱷魚夾/接線端子；